用于晶圆输送的真空钳
弗洛罗机械真空钳的特点
昭和58年获得开关阀专 利,开发和商业化半导体兼容真空钳子后,我们的真空钳子不断发展,市场不断扩大。 我们的真空钳子具有广泛的功能,从硅片到微小工件的吸附和输送。 由于我们始终如一地开发、制造和销售产品,因此我们能够了解客户的需求,并始终从客户那里开发和制造新产品的提示。 近年来,需要一种技术来输送易碎的超薄晶圆,并不断开发相应的新产品芯片。 其中,多孔芯片是输送化合物半导体和太阳能电池晶圆的理想选择。
12 英寸导电多孔芯片 (No.66) 全新阵容
真空钳体系列
为了让您长时间使用真空钳子,我们每天连续执行 8 小时的阀门耐久性测试,以重复按钮开/关。 使用真空泵 FV-30。
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