非接触式晶圆传送伯努利卡盘BC系列的特点
非接触式晶圆传输伯努利卡盘 BC 系列的工作原理
当晶圆放置在导向环的四个白色销钉内并按下启动按钮时,晶圆会浮起并接近中心。之后用黑色方销固定,可以无接触运输。
非接触式晶圆传输伯努利卡盘 BC 系列产品概述
◆请从20度、45度、90度中选择主机。通过更换导向环可以处理各种晶圆。导环更换也很容易。
为了保证真空镊子能够长期安心使用,我们进行了长期阀门耐久测试,每天重复开关按钮8小时。 在0.3Mpa气压下进行。
蓉公网安备 51012402000290号