四川成都重庆西安贵州云南供应基恩士 (KEYENCE)VK-X150K 控制器
型号
VK-X150K
综合倍率
19200 倍以下*1
视野 (*小观察范围)
16 µm 至 5400 µm
帧频率
激光测量速度
4 至120 Hz、7，900 Hz*2
测量原理
光学系统
针孔共聚焦光学系统
光接收元件
光电倍增器、16 bit 感应
扫描方式 (常规测量时及图像连接时)
自动上下限设置功能 高速光量*好化功能(AAG Ⅱ)反射光量不足补充功能(双扫描)
高度测量
显示分辨率
5 nm
线性标尺
动态量程 (来自工件的光接收量的适用幅度)
16 bit
重复精度σ
20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3
Z轴测量用内存
140 万步骤
准确性
0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4
Z 载物台结构
结构
测量头分离结构
*大样品高度
28 mm, 128 mm (可选件)
宽度测量
10 nm
重复精度3σ
20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3
±2％*5
XY 载物台结构
手动 运行范围
70 mm×70 mm
电动 运行范围
50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6
观察
观察图像
超高精细彩色CCD 图像 16 bit 激光彩色共焦点图像 共焦点+ ND 滤波器光学系统 C- 激光微分干涉图像
*大拍摄分析率
3072×2304
测量用激光光源
波长
红色半导体激光 658 nm
*大输出
0.95 mW
激光产品
2 类激光产品 (GB7247.1)
重量
测量部
约25 kg(分离时测量头单体: 约8.5 kg)
控制器部
约 11 kg
*1 23 英寸显示器记载。 *2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取*快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 *3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。 *4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。 *5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。 *6 安装电动载物台时。
蓉公网安备 51012402000290号
