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ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵

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产品名称: ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵
产品型号: UR421-T
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

通过将热量浸泡在泵体的高温区域，可以将CVD、蚀刻等产生的可升华废气以气态排出。


ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵  的详细介绍

多级罗茨干式真空泵

HR/UR系列

乌尔

ULVAC


通过将热量浸泡在泵体的高温区域，可以将CVD、蚀刻等产生的可升华废气以气态排出。

特征

  • 可以在高温区域以气态排放通过热化CVD、蚀刻等
    产生的升华废气。
    UR 系列可以加热到比 HR 系列更高的温度。

  • 由于密封结构配备氦气密封罐装电机，因此非常**。
  • 瞬时停电对策：采取
    1000msec以内的瞬时停电对策。
  • 优异的耐蚀性
    主要部件采用表面硬度高、耐蚀性优异的特殊表面处理。排出腐蚀性气体时减少泵内部的腐蚀。
  • 通讯功能：
    可读取与泵运行状态和警告/报警历史相关的数据。通过使用专用软件和执行计算机通信，可以进行集中监控。

利用

  • CVD设备
  • 蚀刻装置
  • 灰化装置
  • ALD、ALH 等

规格

模型 UR421-T UR600 UR1200 UR1800 UR3601-TT
使用的泵 DRP
UR421-T
UR90 UR90 UR180 UR421-T
MBP ―――― PRC-006A PRC-012A 中国-018A PRC-036C-T
*大排气速度 410 米3 / 小时
（6833 升 / 分钟） 		653 米3 / 小时
（10883 升 / 分钟） 		1012 米3 / 小时
（16867 升 / 分钟） 		1701 米3 / 小时
（28350 升 / 分钟） 		2700 米3 / 小时
（45000 升 / 分钟）
达到压力
5.0帕
*大进气压力
（进气压力） 		大气压*1
*大排气口压力
（排气压力） 		1～大气压Pa
进气口（CE规格） VG100
VG80 (NW80)
VG100 (NW100)
VG150 (NW100)

VG150

排气口 VG50
NW40
NW50
大量的 415 公斤 370 公斤 403 公斤 553 公斤 720 公斤
电力 三相 180-240 VAC / 
380-440 VAC 
(50/60 Hz) 		200 伏交流电（50/60 赫兹）/220 伏交流电（60 赫兹） 180-240 VAC / 
380-440 VAC 
(50/60 Hz)
当前值 常规时间 23 A（200V 时） 16.4 A（200V 时） 18.9 A（200V 时） 29.2 A (200V) 
20.5 A (400V) 		39.8 A（200V 时）
20.5A（400V 时）
*大值 52.5 A（200V 时） 17.3 A（200V 时） 22.4 A（200V 时） 34.9 A（200V 时）
40.5A（400V 时） 		68.3 A（200V 时）
40.5A（400V 时）
临时冷却水压力 0.2～0.5Mpa 0.1～0.3Mpa 0.2～0.5Mpa
冷却水进/出口压差 > 0.2 兆帕 > 0.1 兆帕 > 0.1 兆帕 > 0.1 兆帕 > 0.2 兆帕
冷却水流量 > 5.0升/分钟
吹扫气体 初级压力 0.1～0.5Mpa
二次压力 0.05 ~ 0.1 兆帕
N 2吹扫 轴 5 SLM
气涨 0 ~ 195 SLM 0 ~ 45 SLM 0 ~ 195 SLM 0 ~ 195 SLM

* 1 请勿在吸入压力为 200 Pa 或更高的情况下连续运行 UR600、UR1200、UR1800 和 UR3601-TT。
* 对于规格表中未列出的 UR 系列的订单，请单独检查。

■ 操作方式

操作方法 1 2 3
N 2流量 SLM 0 五 5~50 *1

订货时请注明操作方式。（UR 系列的标准设置：3）
*1 UR421-T 和 UR3601-TT 的 N2 流量为 5 至 200 SLM。

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