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ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵

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产品名称: ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵
产品型号: GR系列GR60A
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

干式真空泵 GR 系列是在成熟可靠的 LR/HR 系列的基础上，为一般工业设计的结构简单的泵。


ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵  的详细介绍

多级罗茨干式真空泵

GR系列

GR

ULVAC

干式真空泵 GR 系列是在成熟可靠的 LR/HR 系列的基础上，为一般工业设计的结构简单的泵。

特征

  • 可用于高负荷应用，例如从大气到真空的反复排气和高压区域的连续运行
  • 非常适合需要高吞吐量的负载锁定室（准备室和取出室）
  • 兼容通用感应电机
  • 可加装防爆电机等特殊电机（选配）
  • 使用多电压兼容电机

利用

  • 空气、惰性气体等清洁气体的真空排气
  • 各种成膜设备上下料室排气
  • 真空干燥、真空气体置换、真空脱泡等一般工业应用
  • 真空绝热、充气等真空气体置换

规格

模型 GR60A GR90A GR180A
*大排气速度 50赫兹 米3 /小时（升/分钟） 62 (1030) 112 (1030) 183 (3100)
60赫兹 米3 /小时（升/分钟） 80 (1333) 126 (2100) 237 (3850)
极限压力*1 帕 5.0 5.0
*大进气压力 气压
*大排气压力 帕 1～大气压
进气口 VG50 VG80
排气口 NW40
DRP表面处理 〇
发动机 输出 [千瓦] 2.2 3.7 3.7 7.5 7.5
电压 [V] 50赫兹 200 ~ 240/380 ~ 415
60赫兹 200 ~ 240/380 ~ 460
大量的 公斤 128 128 188 268
冷却方式 冷却水
一次供水压力 		兆帕 0.1～0.3
冷却水
进/出口压差 		兆帕 > 0.1
冷却水温度 ℃ 10~30*2
冷却水流量 升/分钟 > 5.0
氮气 一次供应压力 兆帕 0.1～0.5
二次侧
调整压力*3 		兆帕 0.05～0.1（运行中）
轴 SLM 5.0 * 4

* 1 极限压力是氮气（轴封气体）为 5.0 SLM 时的值。
* 2 无冷凝。
* 3 这是由调节器调整的压力表的值。
* 4 氮气（轴封气体）的流量固定为 5.0 SLM。

配饰

模型 材料 表面处理 质量（公斤） 连接
法兰 		GR60A GR90A GR180A
消音器 RS-01 +
套件 A 		SUS304 GBB处理 4.1 KF40 〇 〇 ――――
RS-02 +
套件 C 		SUS304 GBB处理 8.3 KF40 ―――― ―――― 〇

排气曲线

GR_curve.png

尺寸图

  • GR60GR-60_jp_size.png
  • GR90AGR-90A_jp_size.png
  • GR180GR-180_jp_size.png
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