产品资料

ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵
产品型号: ECO-SHOCK(ES10)
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

ECO-SHOCK 是一款 划时代的附件,通过将其连接到当前使用的干式真空泵上,可以显着节省干式泵的能源。 特征


ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵  的详细介绍

多级罗茨干式真空泵

省电附件

生态冲击

ULVAC

ECO-SHOCK 是一款
划时代的附件,通过将其连接到当前使用的干式真空泵上,可以显着节省干式泵的能源。

特征

  • 有助于节能
    干式真空泵的耗电量*多可降低 80%(与本公司相比)
    具有抑制干式泵发热的效果,还可以降低空调设备的耗电量。
    * 不能用于排放易燃、易燃、有毒气体等的泵。
  • 提高干泵性能
    预计提高极限压力性能可
    降低排气噪音
    在所有压力范围内均不降低排气速度 在
    连续运行时间长于 1000 Pa 或以下的应用中非常有效
    * 即使排气口被抽真空 也可安装在没有问题的干泵。
  • 易于安装

利用

  • 用于排出空气、氮气、氩气等惰性气体的干式真空泵
  • 干式真空泵用于装载和卸载室,如溅射

规格

模型 ES10 ES4A
电源供应 规格 单相 AC100V-220V 50 / 60Hz 单相 AC200V ~ 220V ± 5% 50 / 60Hz
能量消耗 65W*1 400W
控制 输入 远程启动/停止(接点DC24V电压) 接点容量:准备2.0A以上的无电压接点。* 2
输出 过流报警输出(触点无电压)
触点容量:DC24V 1.0A
启动确认、节能确认、主机报警、
过流报警
展示 显示行驶时间 动作时间、启动确认、节能确认、
主机报警、过电流报警
外形尺寸 主机 175mm x 330mm x 240mm 250 毫米 x 475 毫米 x 373 毫米
阀单元 Φ66mm x 110mm (NW40) * 3 这是一种选择。
大量的 主体单位:9.2kg 阀门单位:800g 32公斤
联系 连接端口 G1/4"(INLET、OUTLET)
连接器安装
Φ16mm管接头
(推荐1.5m以下)

*1:干泵工艺气体,吹扫气体0Pam3/s 
*2:手动启动/停止ES4A时,
可通过控制连接器的PIN跳线来开启/关闭电路保护器。
* 3: 阀门单元是 ES10 的标准配置。

效果示例

ES4A

我们的泵型号 LR1800 LR3601-R
排气速度*1 机械增压泵 1784 米3 / 小时(29700 升 / 分钟) 3200 米3 / 小时(53333 升 / 分钟)
干泵 237 米3 / 小时(3950 升 / 分钟) 440 米3 / 小时(7333 升 / 分钟)
平均功耗
*2*3
极限压力运行期间 没有任何 6.0千瓦 7.8 千瓦
连接 ES4A 时 2.7千瓦 3.2千瓦
减少率 55% 59%
反复排气时*4 没有任何 7.2千瓦 9.6 千瓦
连接 ES4A 时 5.7千瓦 6.3千瓦
减少率 21 % 34%

* 1 电源频率 60 Hz 
* 2 密封气体 5SLM 
* 3 包括 ECO-SHOCK ES4A 的功耗
* 4 300L 腔室重复排气 60 秒 Tact 测量示例

ES10

型号名称 LR60 LR90 LR180
排气速度*1 1300L/分钟 2100L/分钟 3980L/分钟
实测功耗* 2 2.1kW 3.6kW 6.6kW
安装 ECO-SHOCK 时测得的功耗* 3 * 4 0.7kW 1.0kW 1.6kW
功率降低率 67% 72% 76%

* 1 电源频率 60Hz 
* 2 功耗是极限压力下的典型值
* 3 包括 ECO-SHOCK 的功耗
* 4 密封气体和气体体积流量为 0Pa·m3 / s 时。它取决于密封气体和气体体积的流量。

尺寸图

ECO-SHOCK_jp_size.png

阀单元外观


  • ES4A NW40ES4A KF40Valve unit_size.png
  • ES4A NW50ES4A KF50Valve unit_size.png
  • ES10
ES10_KL5000-023B__A3K Model_Vaalve unit_size.png
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