多级罗茨干式真空泵
省电附件
ULVAC
*1:干泵工艺气体,吹扫气体0Pam3/s *2:手动启动/停止ES4A时, 可通过控制连接器的PIN跳线来开启/关闭电路保护器。 * 3: 阀门单元是 ES10 的标准配置。
* 1 电源频率 60 Hz * 2 密封气体 5SLM * 3 包括 ECO-SHOCK ES4A 的功耗 * 4 300L 腔室重复排气 60 秒 Tact 测量示例
* 1 电源频率 60Hz * 2 功耗是极限压力下的典型值 * 3 包括 ECO-SHOCK 的功耗 * 4 密封气体和气体体积流量为 0Pa·m3 / s 时。它取决于密封气体和气体体积的流量。
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