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ULVAC爱发科冷阴极电离真空计

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产品名称: ULVAC爱发科冷阴极电离真空计
产品型号: SC1
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

成都西野供应：ULVAC爱发科冷阴极电离真空计SC1


ULVAC爱发科冷阴极电离真空计  的详细介绍

冷阴极电离真空计

SC1

SC1

ULVAC

G-TRAN系列是以（1）降低设备成本、（2）节省空间、（3）节省布线的概念开发的真空计，用于集中过程控制和各种设备的小型化。.. 
它由一个传感器单元和一个显示单元的基本单元组成，可以根据应用进行组合。

特征

  • 测针与测量电路一体化结构
  • 模拟输出和设定值输出
  • 独立的伪对数输出和设定值输出（显示单元）
  • 采用 48 x 96 mm DIN 标准尺寸（显示单元）

采用

  • 用于半导体和电子零件等各种制造设备的过程控制
  • 用于熔炉等各种工业设备的过程控制
  • 用于在线式和单晶片式等具有多个工艺室的各种制造设备的工艺控制

规格

类型 传感器单元
模型 SC1
自适应触控笔 C-21、23、24、25
测量压力范围 1.0 × 10 -5至 1.0 Pa
测量精度 + 100%, -50% (1.0 x 10 -4到 1.0 x 10 -1 )
工作温度限制 10-40℃
测量值输出 非线性输出：DC0V 至 10V（HV-OFF 时为 10V）
SET POINT1 / 2 调整输出 非线性输出：DC0-10V
控制输入信号 高压开/关
输出信号 集电极开路，负逻辑
控制输出信号 放电确认/设定点 1/2
LED显示屏 功率、高压、压力保护、设定点 1/2
电源 DC24V±2V，150mA
输入/输出连接器 D-sub-15 针（M2.6 螺丝）
身体质量 430g（不含触控笔）
配件 1组输入/输出连接器
1份快速手册

* IO、模拟地和电源地没有隔离。

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