成都西野供应：ULVAC爱发科气体监测仪

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产品名称: 成都西野供应：ULVAC爱发科气体监测仪

产品型号: CGM2-052

产品展商: ULVAC爱发科

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简单介绍

成都西野供应：ULVAC爱发科气体监测仪CGM2-052

成都西野供应：ULVAC爱发科气体监测仪 的详细介绍

高压工艺（溅射工艺）

Qulee CGM2系列

ULVAC

ULVAC 的新型残余气体分析仪/工艺气体监测仪 (RGA)，可在高压（1 Pa 或更小）下实现高精度和高分辨率，具有简单性和易用性。
引入过程监视器的新标准，体现各种生产线上的设备工程师的声音。
溅射设备的过程控制（质量改进、良率改进）的理想选择。

M / △ M = 1M (10% PH)

模型	CGM2-051	CGM2-052
质量分离法	四极质谱仪
质量数范围	1-50 亩
探测器	法拉第杯	二次电子倍增器/ 法拉第杯
灵敏度	0.1uA/Pa	0.1毫安/帕
*小检测分压	1x10 ^-7帕	1x10 ^-10帕
*大工作压力	2Pa	2Pa (FC) 1x10 ^-2 Pa (SEM)
线性度	1Pa
总压测量功能	可
一键检漏功能	是 / He / H ₂ O / N ₂ / O ₂ / 任何气体
电源电压	DC24V±10% 50W
*高烘烤温度（连接传感器单元时）	120℃
*高烘烤温度（传感器单元安装/拆卸时）	250℃
工作温度限制	10-40℃
界面	以太网
软件	Qulee QCS Ver.4.0 或更高版本（兼容Windows 7/8/10）
符合标准	行政长官

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