产品资料

成都西野:ULVAC爱发科气体分析仪主体

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 成都西野:ULVAC爱发科气体分析仪主体
产品型号: YTP-H 系列
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

成都西野:ULVAC爱发科气体分析仪主体


成都西野:ULVAC爱发科气体分析仪主体  的详细介绍

基本流程

Qulee 与 YTP-H 系列

带 YTP-H BGM2-101 的 Qulee

ULVAC

带有差分排气系统套件的四极杆质谱仪(Q uleewith YTP --H)在ULVAC的Q ulee中取得了丰硕的成果,并根据客户需求实现了全功能和易用性。
可广泛应用于从各种真空设备的工艺管理、残余气体分析到研发。

特征

  • 具有出色性价比的通用规格 借助差动排气系统,一个装置可以处理从过程监控到残余气体分析 (RGA) 的所有事情。
  • 紧凑型设计 使用标准排气装置的紧凑型设计 Desktop YTP
  • 显示一体化设计 无需PC即可测量
  • 操作简单 一键式功能(任何人都可以轻松操作,无需复杂操作)
  • 也可以进行大气压分析 我们准备了可以在 3000Pa、500Pa、100Pa、10Pa、1Pa 下监测的规格,包括大气压分析。
  • 测量质量范围 1 至 100 (BGM2-101)
  • 低噪音:低噪音设计,驱动噪音为 43 dB (A) 或更低
  • 真空计无需专用指示灯:可采集真空计信号并显示在操作屏幕上(可选配真空计)。
  • 增强的泄漏测试功能 可以进行氦泄漏测试、空气泄漏测试、堆积测试
  • 以太网兼容 Qulee QCS (Ver.4) 随附软件作为标准安装 (Windows 7/8/10)

采用

  • 用于研发应用的各种气体分析
  • 溅射设备、真空沉积设备等过程中的气体监测器。
  • 溅射设备、真空气相沉积设备等的残留气体分析
  • 高真空排气系统残留气体分析
  • 检查真空增碳器的终点和氧气浓度
  • 冷冻干燥设备中干燥点和杂质的确认

规格

气体分析仪主体 从 Qulee BGM2-101 / 102/201/202、HGM2-302 中选择
* 有关 Qulee 主机的规格,请参阅单独的目录。
软件 Qulee QCS Ver.4.0 或更高版本(兼容Windows 7/8/10)
*大采样压力 从大气压/3000Pa/500Pa/100Pa/10Pa/1Pa中选择
真空规格 气体导入系统
(3000~1Pa规格)
手动波纹管阀(2系统:孔板/直管)
连接法兰:ICF070
*大采样压力 从 3000Pa / 500Pa / 100Pa / 10Pa / 1Pa 中选择一种
可变泄漏阀规格 采样压力 大气压~1e-3Pa可手动调节
大气压规格
大气压采样单元
APS-001
毛细管系统
(100,000Pa规格)
干泵(清扫系统) 6L/min
极限压力:6700Pa
控制器单元 筒式加热器温度控制和开/关,清扫泵开/关
毛细管单元 手动波纹管阀(1 个系统)、筒式加热器、绝缘垫、毛细管安装
接头接头:1/4”Swagelok
电源电压 AC100V 或 220V
排气装置 桌面型 YTP 
(YTP70A-D)
涡轮分子泵 排气速度 70L/s (N 2 )
干泵(粗拉系统) 排气速度20L/min(隔膜式)
电源电压 AC100-240V
配件 AC100V附带电源线*1,桌面YTP底座*2,Qulee AC适配器,Qulee LAN电缆(3m),软件安装盘,法兰固定螺栓组,垫圈(UFC114G,UFC070G),OA水龙头*3,脚轮*4,各种固定螺丝
选项 离子气压计套件(离子气压计 SH2-1、触控笔电缆 2m、十字型管道、螺栓套件、垫圈)、USB-LAN 适配器、交换集线器(8 端口/16 端口)*5、落地推车套件*6

* 1 AC100V 如果您在日本以外的环境中使用本产品,请购买单独的电源线。您将需要三根电源线,一根用于大气压采样单元,一根用于 Desktop YTP,一根用于 Qulee AC 适配器(用于大气压规格)。
* 2 请务必在安装 Desktop YTP 时使用它。在大气压规格的情况下,它具有可安装控制单元的两级结构。
* 3 OA 分接头仅适用于日本使用的 AC100V 大气压规格。
* 4 脚轮仅附于大气压规格。安装将由客户完成。
* 5 交换集线器需要单独的 AC 适配器。
* 6 落地推车组必须由客户组装。

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