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成都西野：ULVAC爱发科多室溅射设备

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产品名称: 成都西野：ULVAC爱发科多室溅射设备
产品型号: ENTRON TM -EX W300
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

ENTRON TM -EX W300


成都西野：ULVAC爱发科多室溅射设备  的详细介绍
溅射装置负载锁定型

多室
溅射设备ENTRON TM -EX W300

Al、Cu、高熔点金属 是单晶圆多室兼容平台，在金属布线工艺上有很多成就。通过将 SIS（自离子溅射）-PVD、金属 CVD/ALD 和用于下一代工艺的 DRY 预处理模块相结合，实现了*佳的性价比。

特征

  • 基于我们传统型号 ENTRON TM -W300 / W200 系列的*新型号，改进主要旨在提高生产率。
  • *多可安装 8 个工艺（PVD、ALD、CVD 等），外加 2 个（脱气、冷却）模块。
  • 配备我们的新型搬运机器人，实现 100wph 或更高的机械吞吐量。
  • 我们提供*适合专用工艺或小型晶圆厂的 S 型（单一型）和支持大型晶圆厂的 T 型（串联型），并灵活应对客户的生产计划。
  • 可安装监控和管理设备运行状态的ED-PMS系统，可安装非接触式膜厚测量装置MESEC-BIT。

采用

  • *先进的半导体制造设备
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