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ULVAC爱发科成膜设备可选部件

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产品名称: ULVAC爱发科成膜设备可选部件
产品型号: PSE 系列
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

蒸镀用电源(带外部自动控制功能) 可根据规格的选择在成膜控制器与温度调节计的组合下控制


ULVAC爱发科成膜设备可选部件  的详细介绍

成膜设备可选部件

蒸发电源SEREM系列

PSE 系列

ULVAC



蒸镀用电源(带外部自动控制功能) 可根据规格的选择在成膜控制器与温度调节计的组合下控制



规格

ph_pse150c.jpg

PSE-150C

zu_psc150c.gif

电压 AC １00V 单相 0.8kVA（50/60Hz）允许电压变动范围＝±10％
负荷电流 Max. 80A
控制信号 外部自动控制输入 DC-0～10V/0～100％设定接收阻抗 1MΩ
电力控制方式 晶闸管交流相位控制系统（输出稳定精度：±10％・输出变动±2％）
定格 30分
外形尺寸 480mm（W）×360mm（D）×149mm（H）（不包括突起部分和配件）
质量 约24kg

选项

标准代码 PSE-
15C11111 		PSE-
15C21111 		PSE-
15C31111 		PSE-
15C12211 		PSE-
15C22211 		PSE-
15C32211
输出位置切换功能 1点切换 2点切换 3点切换 1点切换 2点切换 3点切换
小电力切换功能 无 无 无 有 有 有
通过成膜控制器自动控制 无 无 无 有 有 有
通过温度指示调节器自动控制 无 无 无 无 无 无
输出遥控 选项 选项 选项 选项 选项 选项

标准代码

項目 代码 规格
1. 系列 PSE- 抵抗加热式真空蒸着设备用蒸发电源、面板安装系统、数字显示
2. 电源容量→ 输出容量可以选择。 8 输入：单相100V、输出：80A（max）　0～10V　0.8kVA（max）※注１
5 输入：单相200V、输出：150A（max）　0～10V　1.5kVA（max）
3. 控制方式 C 自动定输出反馈控制（恒定电流/定电压/定电力　选择方式）
4. 输出位置切换功能
→ 可根据蒸发源的电极构成进行选择。 		1 无：１点
2 ２点切换
3 ３点切换
5. 小电力切换功能→
可应用于有机物等小型输出调整 		1 无
2 低输出（0～50A）/高输出（0～150A）变压器切换
6. 自动控制器功能
→ 具有通过成膜控制器自动控制输出的功能。 		1 无：手动調整
2 具有膜厚仪输出自动控制功能（固定）
3 通过膜厚仪或温度调节计，可以具有自动输出控制功能（切换）
7. 内置温度指示调节计
→ 具有通过温度调节计自动进行输出控制的功能。 		1 无
2 有（ＰＩＤ控制方式）※注２
8. 输出遥控→ 监视真空槽内的同时有效地进行输出调整 2 无
2 有（ＯＮ/ＯＦＦ、ＵＰ/ＤＯＷＮ操作）

※注1 可对应输出位置切换功能、膜厚仪自动功能、输出遥控（小电力功能／温度自动功能／温調計功能不能对应）
※注2 仅自动控制器功能 [３] 选择时适用


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