晶圆检测显微镜（成像分析）52XA-1200M成都西野
一、产品介绍：
晶圆检测显微镜52XA-1200M采用了当今*为先进的光学显微镜与现代成像分析融为一体的图像测量技术，主要用于光伏行业太阳能电池硅片、LED芯片、IC芯片、半导体晶圆、液晶板、ITO导电玻璃、印刷线路板等结构或表面缺陷检测，系统配置了三目大工作台正置金相显微镜52XA、1200万高清晰数字摄像头及图像测量管理软件，可对硅片芯片图像进行拍照、测量、编辑和保存输出等多种操作。 晶圆检测显微镜52XA采用上等的光路系统，配置了落射与透射照明系统、长距平场消色差物镜、内置偏光观察装置，具有图像清晰、衬度好，造型美观，操作方便等特点。 二、系统配置：
序号
配置名称
主要规格参数
1
三目正置金相显微镜52XA
50-800X
2
1200万高清晰数字摄像头
1200万像素，图像测量软件
3
摄像接口MCL
1X或者0.5X
4
标尺
0.01mm
三、显微镜技术参数：
名称
技术参数
01
平场目镜
大视野 WF10X(Φ18mm)
02
长距平场物镜
PLL5X/0.12、10X/0.25、20X/0.40、40X/0.60、80X/0.80
03
总放大倍数
50X-800X
04
观察头
三目镜,倾斜30˚,(内置检偏振片,可进行切换)
05
转换器
五孔 (外向式滚珠内定位)
06
调焦范围
粗微动同轴, 微动格值0.7μm, 粗动松紧可调,带锁紧和限位装置
07
载物台
三层机械移动式尺寸: 280mmX270mm,移动范围: 204mmX204mm
08
光瞳距离
53-75mm
09
滤色片
蓝、磨砂
10
落射照明系统
6V 20W卤素灯,亮度可调
带视场光栏、孔径光栏、起偏振片,(黄,蓝,绿)滤色片和磨砂玻璃
11
仪器重量
净重11.0公斤 毛重12.5公斤
12
仪器尺寸
仪器尺寸42X45X45（cm） 包装尺寸45X50X50(cm)
蓉公网安备 51012402000290号
