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日本福乐FLUORO弗洛罗机械真空钳全新出发市

用于晶圆输送的真空钳

C系列(导电性型)F系列(耐化学性型)
材质说明代码表示轴·盖选购件固有电阻率

弗洛罗机械真空钳的特点

昭和58年获得开关阀专   利,开发和商业化半导体兼容真空钳子后,我们的真空钳子不断发展,市场不断扩大。 我们的真空钳子具有广泛的功能,从硅片到微小工件的吸附和输送。 由于我们始终如一地开发、制造和销售产品,因此我们能够了解客户的需求,并始终从客户那里开发和制造新产品的提示。
近年来,需要一种技术来输送易碎的超薄晶圆,并不断开发相应的新产品芯片。 其中,多孔芯片是输送化合物半导体和太阳能电池晶圆的理想选择。

12 英寸导电多孔芯片 (No.66) 全新阵容

12 英寸导电多孔芯片 12英寸的导电多孔芯片,只有8英寸出现。
非常适合降低化合物半导体和薄晶圆处理过程中的应力。
吸附脱离的反应也轻盈。 由导电PEEK制成。
注: 工艺上多孔芯片腔内存在无法去除的毛刺。 请原谅我。


真空钳体系列

真空钳子 C
真空钳子 C

真空钳 F
真空钳 F


为了让您长时间使用真空钳子,我们每天连续执行 8 小时的阀门耐久性测试,以重复按钮开/关。
使用真空泵 FV-30。

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