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日本SAKAGUCHI坂口电热桌上型ExLASER®(爱克斯·激光)

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产品名称: 日本SAKAGUCHI坂口电热桌上型ExLASER®(爱克斯·激光)
产品型号:
产品展商: 日本SAKAGUCHI坂口电热
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简单介绍

日本SAKAGUCHI坂口电热桌上型ExLASER®(爱克斯·激光) 桌型尺寸的紧凑设计 加热部分和控制部分为一体型,进行案头试验 由于激光加热,大气中直接加热 低功率高瓦特密度实现(※) 真空加热器必要时,选择可以在舱室 (※)瓦特密度: 34 W /㎠(ε= 0.9 日本SAKAGUCHI坂口电热桌上型ExLASER®(爱克斯·激光)


日本SAKAGUCHI坂口电热桌上型ExLASER®(爱克斯·激光)  的详细介绍

日本SAKAGUCHI坂口电热桌上型ExLASER®(爱克斯·激光)

1/2インチ径ウェハー加熱時
(500W 10秒後850℃以上 20秒で100℃以下)
ステージ上にワーク設置 レーザー加熱イメージ

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製品仕様一例

定格 AC100V 15A以内
レーザ出力 *大50W 
加熱雰囲気 大気
加熱面積 φ 13mm
ワークステージ φ 60mm(MAX)
本体サイズ H580mm×W320mm×D470mm
装備品 放射温度計、USBカメラ、パソコン

※透明基板は直接加熱できません日本SAKAGUCHI坂口电热桌上型ExLASER®(爱克斯·激光)

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