西南供应日本CKD喜开理空气轴承

产品介绍：

   采用非接触空气轴承机构的滑动零阻力的空气静压式柔性执行部。通过与电空减压阀（EV)的组合，实现细致精密的负荷控制。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 安装
• • 产品特点

  【滑动零阻力】
  采用完全非接触设计，滑动零阻力，因此可实现高响应、与供给压力成线性比例的推力控制。

  

  【洁净】
  动作时完全非接触，因此无发尘。

  
  

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