产品资料

日本ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 日本ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵
产品型号: HR/UR系列—HR60
产品展商: ULVAC爱发科
产品文档: 无相关文档

简单介绍

通过在泵体的高温区域吸热，可以将CVD、蚀刻等产生的升华性废气以气态排出。


日本ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵  的详细介绍

多级罗茨干式真空泵

HR/UR系列

ULVAC


通过在泵体的高温区域吸热，可以将CVD、蚀刻等产生的升华性废气以气态排出。

特征

  • 可以在高温区域以气态排放通过热化CVD、蚀刻等
    产生的升华废气。
    UR 系列可以加热到比 HR 系列更高的温度。

  • 由于密封结构配备氦气密封罐装电机，因此非常**。

  • 瞬时停电对策 采取1000msec以内的瞬时停电对策。
  • 优异的耐蚀性
    主要部件采用表面硬度高、耐蚀性优异的特殊表面处理。排出腐蚀性气体时减少泵内部的腐蚀。
  • 通讯功能
    可以读取与泵运行状态和警告/警报历史相关的数据。通过使用专用软件和执行计算机通信，可以进行集中监控。

利用

  • CVD设备
  • 蚀刻装置
  • 灰化装置
  • ALD、ALH 等

规格

模型 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200
使用的泵 DRP HR60 HR90 HR60 HR90 HR90
公安部 ―――― ―――― PRC-003A PRC-006A PRC-012A
*大
排气速度 		50赫兹 米3 /小时
（升/分钟） 		62 (1030) 112 (1860) 359 (5,980) 653 (10,900) 1,012 (16,900)
60赫兹 米3 /小时
（升/分钟） 		80 (1333) 126 (2100) 365 (6,080) 701 (11,700) 1,051 (17,500)
达到压力 帕 五 0.67
*大进气压力
（进气压力） 		大气压*1
*大排气口压力
（排气压力） 		帕 1～大气压
进气口（CE规格） VG50 (KF50) VG80 (KF50) VG80 (KF80) VG100 (KF100)
排气口 KF40
大量的 公斤 180 245 275 370 420
电力 三相 VAC (赫兹) 200 (50/60), 220 (60)
当前值 常规时间 一个 7.1 
（200V 时） 		11.2 
（200V 时） 		7.8 
（200V 时） 		12.9 
（200V 时） 		15.4 
（200V 时）
*大值 一个 7.3 
（200V 时） 		11.8 
（200V 时） 		8.1 
（200V 时） 		13.8 
（200V 时） 		18.9 
（200V 时）
临时冷却水压力 兆帕 0.1～0.3
冷却水进/出口压差 兆帕 > 0.1
冷却水流量 升/分钟 > 5.0
吹扫气体 初级压力 兆帕 0.1～0.5
二次压力 兆帕 0.05 ~ 0.1
N 2吹扫 轴 SLM 五
气涨 SLM 0 ~ 45

* 1 请勿在吸入压力为 200 Pa 或更高的情况下连续运行 HR300、HR600 和 HR1200。

尺寸图

  • HR60HR60_en_size.png
  • HR90HR90_en_size.png
  • HR180HR180_en_size.jpg
  • HR300HR300_en_size.jpg
  • HR600HR600_en_size.jpg
  • HR1200HR1200_en_size.jpg
产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

蓉公网安备 51012402000290号