机械增压泵
PMB-D系列
ULVAC
*1 经表面处理,废气可能会因吸湿而受到废气的影响。
注)本规格使用Si单位制。转换为非 Si 单位系统如下。 4.0 × 10 -1帕 = 3.0 × 10 -3托
* 1 标准产品不进行表面处理(阳极氧化膜)。您也可以选择表面处理作为选项。 * 2 用皮拉尼真空计测量(辅助泵,使用的油是标准的)。使用 McLeod 计,它是 4.0 x 10 -2 Pa。 * 3 只有 PMB100D 可以选择 200V 级和多电压的电机。 如果兼容防爆电机,则不能支持多电压。 * 4 用于风冷的油是R-72。可选择矿物油:R-72、合成油:R-7000、 氟油:J25F。 * 5 通过选择变频器规格,可以在全压力范围内运行。 订购变频器规格时,请指定风冷和水冷规格。 水冷式变频器无法进行风冷运行。 对于 PMB600D、1200D 和 2400D,在 300 Pa 到 4,000 Pa 的压力范围内保压 1 小时或更长时间 可能会损坏泵。在这种情况下,请选择水冷。 * 6 如果冷却水温度较低,请在不会发生结露的环境中使用。 * 7 关于其他尺寸,请参考我们网站上发布的 CAD 数据。 * 8 I2 和 I4 为水冷式。A2 和 A4 表示带水冷设置的逆变器。
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