成都西野供应：ULVAC爱发科机械增压泵

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产品名称: 成都西野供应：ULVAC爱发科机械增压泵

产品型号: PRC-003A

产品展商: ULVAC爱发科

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简单介绍

ULVAC PRC 系列是机械增压泵，主要设计用于要求特别清洁的半导体和液晶制造工艺。采用封闭式电机，不会发生轴封部分的漏油现象。也可选择常压驱动型。

成都西野供应：ULVAC爱发科机械增压泵 的详细介绍

机械增压泵

ULVAC

PRC 系列是机械增压泵，主要设计用于要求特别清洁的半导体和液晶制造工艺。
采用封闭式电机，不会发生轴封部分的漏油现象。也可选择常压驱动型。

特征

由于无油
外壳中没有润滑油，因此对于蒸汽和溶剂等蒸汽可以获得稳定的性能。
采用
封闭式电机通过采用封闭式电机，我们能够消除大气/真空的机械密封。您可以在干净的环境中使用，不用担心漏油。
表面处理，耐腐蚀性能好
主要部件采用氧化铝处理，表面硬度高，耐腐蚀性能好，防止泵内划伤和腐蚀。没有表面处理可供选择。
可有效缩短排气时间的大气压驱动型（选件：变频器）
由于可与低真空泵同时启动，因此与标准型相比，可缩短排气时间。
除了特殊应用的可选
标准外，我们还有特殊应用的模型。

使用示例	类型	适用机型	表面处理	油
通过对空气和惰性气体排放进行表面处理，提高了抗异物的强度	标准	PRC-003A、PRC-006A、 PRC-012A、PRC-018A	〇^{* 1}	R-42 矿物油
当您想要抑制由于吸附空气或惰性气体排出水分而导致的极限压力的影响时	X	PRC-003A-X、PRC-006A-X、 PRC-012A-X、PRC-018A-X	✖	R-42 矿物油
防止因腐蚀性气体、可燃性气体和氧化性气体引起的油品变质表面处理提高了对异物的抵抗力	F	PRC-003A-F、PRC-006A-F、 PRC-012A-F、PRC-018A-F	〇	J25F ^*2 氟油

*1 经表面处理，废气可能会因吸湿而受到废气的影响。
* 2 使用氟油进行装配检查，但不包括在内。如有需要，将另行安排。

利用

沉积、溅射、离子镀
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析设备、泄漏测试设备
气体置换、充填、真空绝热
热处理炉、熔炼炉
其他各种真空设备

规格

型号 * 1			PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	中国-018A
*大排气速度		50赫兹	280 米³ / 小时（4670 升 / 分钟）	500 米³ / 小时（8330 升 / 分钟）	1000 米³ / 小时（16700 升 / 分钟）	1500 米³ / 小时（25000 升 / 分钟）
		60赫兹	330 米³ / 小时（5500 升 / 分钟）	600 米³ / 小时（10000 升 / 分钟）	1200米³ /小时（20000升/分钟）	1800 米³ / 小时（30000 升 / 分钟）
*大吸入压力		50赫兹	1.2×10 ³帕	1.3×10 ³帕		1.2×10 ³帕
		60赫兹	9.3×10 ²帕	1.1×10 ³帕		9.3×10 ²帕
*大允许压差		50赫兹	4.0×10 ³帕	7.3×10 ³帕		4.3×10 ³帕
		60赫兹	3.3×10 ³帕	6.0×10 ³帕		3.2×10 ³帕
极限压力*2			4.0×10 ^-1帕		6.7×10 ^-1帕
驱动压力			~ 1.0 x 10 ⁵ Pa (大气压驱动型)
电机 * 3	格式		罐式三相感应电动机
	高效率等级		-
	输出		0.75 kW（2极数）	2.2 kW（2极数）	3.7 kW（2极数）	5.5 kW（2极数）
	电压（200V级电机）	50赫兹	200 伏
		60赫兹	200/220 伏
使用油 * 4			ULVOIL R-42
所需油量			0.7 升	1.5升	1.9 升
冷却方式			水冷
冷却水	初级压力		0.3 兆帕
	门口压差		0.01 Mpa以上
	冷却水量		2升/分钟		32升/分钟
	冷却水温*5		5-30℃
进气口直径 JIS-B-2290			相当于VG80		相当于VG100	相当于VG150
排气直径JIS-B-2290			相当于VF80			相当于 VF100
外形尺寸W×D×H*6			296 x 575 x 260 毫米	356 x 619 x 320 毫米	406 x 759 x 340 毫米	406 x 989 x 340 毫米
大量的			51 公斤	86 公斤	118 公斤	150 公斤
标准辅助泵			VD60C	VD90C	VS2401	VS2401
标准配件			1份使用说明书，1单位机油

注）本规格表使用SI单位制。非 SI 单位制的换算如下。
4.0 x 10 ^-1 帕 = 3.0 x 10 ^-3托

* 1 标准产品有表面处理（阳极氧化膜）。您可以选择不进行表面处理。
* 2 用皮拉尼真空计测量（辅助泵，使用的油是标准的）。
* 3 不提供防爆和防爆。
* 4 可选择合成油（R-7000）和氟油（J25F）作为选项。
* 5 请在没有结露的环境中使用。
* 6 关于其他尺寸，请参考我们网站上发布的 CAD 数据。