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ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵

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产品名称: ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵
产品型号: LR300
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

多级罗茨干式真空泵 LR系列 通过将泵体的热量吸收在低温区域，它是*适用于准备取出室排气的泵过程。


ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵  的详细介绍

多级罗茨干式真空泵

LR系列

LR

ULVAC

通过将泵体的热量吸收在低温区域，它是*适用于准备取出室排气的泵过程。

特征


  • 除了低温区域的热化（LR 系列） PVD 工艺外，它还非常适用于冲泡和取出室的排气，其中缩短排气时间对于提高产量尤其重要。
  • 由于密封结构配备氦气密封
    罐装电机，因此非常**。

  • 瞬时停电对策 采取1000msec以内的瞬时停电对策。
  • 优异的耐蚀性
    主要部件采用表面硬度高、耐蚀性优异的特殊表面处理。排出腐蚀性气体时减少泵内部的腐蚀。
  • 通讯功能
    可以读取与泵运行状态和警告/警报历史相关的数据。通过使用专用软件和执行计算机通信，可以进行集中监控。

利用

  • 成膜设备（溅射设备/蒸镀设备等）
  • 缩短准备外卖室的排气时间
  • 作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）

规格

模型 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T
*大排气速度 50赫兹 米3 /小时
（升/分钟） 		62 (1030) 112 (1860) 183 (3100) 440 (7333)
60赫兹 米3 /小时
（升/分钟） 		80 (1333) 126 (2100) 237 (3950) 440 (7333)
达到压力 5.0帕
*大进气压力（进气压力） 气压
*大排气口压力（排气压力） 1Pa ~ 大气压
进气口（CE规格） VG50 (KF50) VG80 (KF50) VG100
排气口 KF40 VG50
大量的 公斤 180 245 335 415
电力*1 三相 VAC (赫兹) 200 (50/60), 220 (60) 180 ~ 240/380 ~ 440 (50/60)
当前值 常规时间 一个 6.9（200V 时） 11.2（200V 时） 18.9（200V 时） 20.8（200V 时）
*大值 一个 7.3（200V 时） 11.8（200V 时） 20.6（200V 时） 48.5（200V 时）
临时冷却水压力 兆帕 0.1～0.3 0.2～0.5
冷却水进/出口压差 兆帕 > 0.1 > 0.2
冷却水流量 升/分钟 > 5.0 > 4.0
吹扫气体 初级压力 兆帕 0.1～0.5
二次压力 兆帕 0.05 ~ 0.1
N 2吹扫 轴 SLM 五
气涨 SLM 0 ~ 45 没有任何 0 ~ 45

* 1 请在订购时注明。

模型 LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601 LR3601-T (TT) LR3601-R LR3601-TR (TTR)
使用的泵 DRP LR60 LR90 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR421 LR421-T
公安部 PRC-003A PRC-006A PRC-012A 中国-018A PRC-036C PRC-036C (-T) PRC-036D PRC-036D (DT)
*大排气速度 50赫兹 米3 /小时
（升/分钟） 		359 
(5,980) 		653 
(10,900) 		1,012 
(16,900) 		1,701 
(28,350) 		3,200 (53,333)
60赫兹 米3 /小时
（升/分钟） 		365 
(6,080) 		701 
(11,700) 		1,051M 
(17,500) 		1,784 
(29,700) 		3,200 (53,333)
达到压力 0.67帕
*大进气压力（进气压力） 气压
*大排气口压力（排气压力） 1Pa ~ 大气压
进气口（CE规格） VG80 (KF80) VG100 
(KF100) 		VG150 
(KF100) 		VG150
排气口 KF40 KF50
MBP表面处理 〇 * 2 〇 * 2 〇 * 2 〇 * 2 × T: × 
TT: × 		× TR: × 
TTR: 〇
大量的 公斤 275 370 420 545 660 720 660 720
电力*3 三相 VAC (赫兹) 200 (50/60), 220 (60) 180 ~ 240/380 ~ 440 (50/60)
当前值 常规时间 一个 7.0 
（200V 时） 		12.3 
（200V 时） 		13.7 
（200V 时） 		21.4 
（200V 时） 		31.0 (200V) 
20.5 (400V) 		35.4 (200V) 
20.5 (400V)
*大值 一个 9.6 
（200V 时） 		19.0 
（200V 时） 		24.2 
（200V 时） 		39.8 
（200V 时） 		58.4 (200V) 
40.5 (400V) 		82.0 (200V) 
40.5 (400V)
临时冷却水压力 兆帕 0.1～0.3 0.2～0.5
冷却水进/出口压差 兆帕 > 0.1 0.1～0.3 0.2～0.5
冷却水流量 升/分钟 > 5.0 > 4.0
吹扫气体 初级压力 兆帕 0.1～0.5
二次压力 兆帕 0.05 ~ 0.1
N 2吹扫 轴 SLM 五
气涨 SLM 0 ~ 45 无 * 4 0 ~ 45 无 * 4 0 ~ 45

* LR300、LR600、LR1200、LR1800的2 MBP可选择带或不带表面处理。
* 3 请在订购时注明。
* 4 可以使用气体松动的规格可以根据应用进行估算。

配饰

■ 消音器

模型 材料 表面
处理 		大量的 连接法兰 LR 
300 		LR 
600 		LR 
1200 		LR 
1800 		L & 
3601 		LR 
60 		LR 
90 		LR 
180 		LR 
421 		LR 
421-T
RS-01 +
套件 A 		SUS
304 		GBB
处理 		4.1
公斤 		KF40 〇 ―――― ―――― ―――― ―――― 〇 〇 ―――― ―――― ――――
RS-01 +
套件 B 		KF40 ―――― 〇 〇 ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― ――――
RS-02 +
套件 A 		8.3
公斤 		KF40 〇 ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― 〇 ―――― ――――
RS-02 +
套件 B 		KF40 ―――― 〇 〇 〇 ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― ――――
RS-03 +
套件 A 		抛光板 12.5
公斤 		KF50 ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― 〇 〇
RS-03 +
套件 B 		―――― ―――― ―――― ―――― 〇 ―――― ―――― ―――― ―――― ――――

排气速度曲线

  • LR60
LR60_curve.png
  • LR90
LR90_curve.png
  • LR180
LR180_curve.png
  • LR421-T
LR421_curve.png
  • LR300 / LR600
LR300_600_curve.png
  • LR1200
LR1200_curve.png
  • LR1800
LR1800_curve.png
  • LR3601 (-R / -TR / -TTR)
LR3601R_TR_TTR_curve.png
  • LR3601 (-T / -TT)
LR3601T_TT_curve.png

尺寸图

  • LR60
LR60_size_j.png
  • LR90
LR90_size_j.png
  • LR180
LR180_size_j.png
  • LR300
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  • LR421
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  • LR421-T
LR421-T_size_j.png
  • LR600
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  • LR1200
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  • LR1800
LR1800_size_j.png
  • LR3601
LR3601_size_j.png
  • LR3601-R
LR3601-R_size_j.png
  • LR3601-T
LR3601-T_size_j.png
  • LR3601-TR
LR3601-TR_size_j.png
  • LR3601-TT
LR3601-TT_size_j.png
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