螺杆式干式真空泵
LS系列
ULVAC
实现高速排气和低功耗的干式真空泵。
我们有 4 种型号的产品阵容,您可以根据设备的尺寸和使用条件选择具有*佳排气能力的泵。
■接近大气压的排气速度快,可以缩短排气时间。
■ ECO-SHOCK 技术实现的低功耗(C 规格) 极限压力下的功耗为 0.6kW 或更低(LS120A-C)
■标配专用消音器。极限压力下的噪音水平为 61 dB (A) 或更低。
■无需过去需要的轴封气体。* L 规格允许吹扫气体流动
■排气速度120-1200m 3 / h级 *与机械增压泵组合
C 规格:清洁工艺(LS *** AC) 特点:内置ECO-SHOCK的低功耗型应用: 溅射/薄膜沉积/粘合/负载锁定室/TMP辅助 清洁排气,如排气和N2排气等
L 规格:轻型工艺(LS *** AL) 特点:具有表面处理和吹扫功能的轻型工艺类型应用: 真空干燥/冷冻干燥/灰化/ 蒸汽和挥发性化学物质排放等轻型工艺的一般工业应用
(C:C规格) (L:L规格)
* 1:极限压力下 * 2:C规格,驳船气体不能流动。* 3:使用驳船气体时处理的*大蒸汽量。* 4:C 规格并非无泄漏兼容。
蓉公网安备 51012402000290号