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ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵

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产品名称: ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵
产品型号: LR系列 LR300
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

干式真空泵 LR 系列通过使用我们独特的高温均热技术有效地利用压缩热，在 CVD 和蚀刻等硬工艺中实现了高耐久性。


ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵  的详细介绍

多级罗茨干式真空泵

LR系列

LR300

ULVAC

干式真空泵 LR 系列通过使用我们独特的高温均热技术有效地利用压缩热，在 CVD 和蚀刻等硬工艺中实现了高耐久性。
在轻量化过程中，与 ECO-SHOCK 结合使用可将功耗降低多达 80% 左右。
此外，为了提高可维护性和降低噪音，所有型号都兼容 CE（可选）。
有关 ECO-SHOCK 的更多信息，请参阅相关信息。

特征

  • LR系列：
    除低温区均热惰性气体排气外，*适用于制剂取出室排气，缩短排气时间对提高生产量尤为重要。
  • HR系列/UR系列：
    可以在高温区域以气态排放热化CVD、蚀刻等产生的升华废气。
  • 1000毫秒内瞬间停电对策
  • CE 兼容（可选）

利用

  • 惰性气体（CVD、干法蚀刻等）
  • 惰性气体排放（溅射、气相沉积、热处理等）
  • 缩短准备取出室的排气时间（LR系列）
  • 制粉过程中的排气（Si单晶拉制等）
  • 作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）

规格

型号名称 左/小时
60 		左/小时
90 		LR 
180 		LR 
421 		LR 
421-T 		UR 
421-T 		LR / 人力资源
300 		LR / HR 
600 		UR 
600 		LR / 人力资源
1200 		UR 
1200
使用的泵 DRP 左/小时
60 		左/小时
90 		LR 
180 		LR 
421 		LR 
421-T 		UR 
421-T 		左/小时
60 		左/小时
90 		UR 
90 		左/小时
90 		UR 
90
MBP - PRC-003A PRC-006A PRC-012A
Z大排气速度 米3 / 小时 50赫兹 62 112 112 183 440 440 410 359 359 653 653 1012 1012
60赫兹 80 126 237 365 701 1051
升/分钟 50赫兹 1030 1860 3100 7333 7333 6833 5980 10900 10883 16900 16867
60赫兹 1333 2100 3950 6080 11700 17500
达到压力 帕 5.0 5.0 0.67
Z大排气压力（吸入压力） 气压 *
Z大排气口压力（排气压力） 1Pa～大气压
进气口（CE规格） VG50 
(KF40) 		VG80 (KF50) VG100 VG80 (KF80) VG100 (KF100)
排气口 KF40 VG50 KF40
干泵表面处理 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
机械增压泵表面处理 ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― ○ * ○ * ○ ○ ○ * ○ ○
大量的 公斤 180 245 335 415 251 371 403
电力 三相 VAC 
(赫兹) 		200 (50/60), 220 (60) 180-240 / 380-440 (50/60) 200 (50/60), 220 (60)
当前值 常规时间 一个 6.9 / 7.1 11.2 18.9 20.8 二十三 7.0 / 7.8 12.3 / 12.9 16.4 13.7 / 15.4 18.9
Z大值 一个 7.0 / 7.3 11.8 20.6 48.5 52.5 9.6 / 8.1 19.0 / 13.8 17.3 24.2 / 18.9 22.4
冷却水一次压力 兆帕 0.1 至 0.3 0.2 至 0.5 0.1 至 0.3
冷却水进/出口压差 兆帕 > 0.1 > 0.2 > 0.1
冷却水流量 升/分钟 > 5.0 > 4.0 > 5.0 > 5.0
吹扫气体 初级压力 兆帕 0.1-0.5
二次压力 兆帕 0.05-0.1
N 2吹扫 轴 SLM 五
气涨 SLM 0-45 无 * 1 0-45 0-195 0-45

* 订货时请注明工作电压。
* 请勿在 200 Pa 或更高的吸入压力下连续运行 HR300、HR / UR600 和 HR / UR1200。泵温度可能会变得异常，联锁装置可能会工作。
* LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT的MBP可选择带或不带表面处理。
* JIS 法兰是进气口的标准。如果它是 CE 兼容的，它将是 NW 类型。
* 1 可用于气体松动的规格可根据应用进行估算。

■ 消音器（选项）

模型 材料 表面处理 质量（公斤） 连接法兰
RS-01 SUS304 GBB处理 4.1 NW40
RS-02 SUS304 GBB处理 8.3 NW40
RS-03 SUS304 抛光板 12.5 NW50

■ 型号兼容性表

套件名称 拟合模型 夹钳 外环 连接配管 停留
RS-01 套件 A LR60、LR90、LR300 1 1 - -
RS-01 套件 B LR600、LR1200 2 2 1 1
RS-02 套件 A LR180（LR60、LR90、LR300） 2 2 1 1
RS-02 套件 B LR1800（LR600、LR1200） 2 2 1 1
RS-03 套件 A LR421 (-T) 1 1 1 1
RS-03 套件 B LR3601 (-T / TT / R / TR / TTR) 3 3 1 1
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