ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵

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产品名称: ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵

产品型号: LR系列 LR3601-T (TT)

产品展商: ULVAC爱发科

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简单介绍

真空泵LR3601-T (TT) 干式真空泵 LR 系列通过使用我们独特的高温均热技术有效地利用压缩热，在 CVD 和蚀刻等硬工艺中实现了高耐久性。

ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵 的详细介绍

多级罗茨干式真空泵

LR系列

LR3601-T (TT)

ULVAC

干式真空泵 LR 系列通过使用我们独特的高温均热技术有效地利用压缩热，在 CVD 和蚀刻等硬工艺中实现了高耐久性。
在轻量化过程中，与 ECO-SHOCK 结合使用可将功耗降低多达 80% 左右。
此外，为了提高可维护性和降低噪音，所有型号都兼容 CE（可选）。
有关 ECO-SHOCK 的更多信息，请参阅相关信息。

特征

LR系列：
除低温区均热惰性气体排气外，*适用于制剂取出室排气，缩短排气时间对提高生产量尤为重要。
HR系列/UR系列：
可以在高温区域以气态排放热化CVD、蚀刻等产生的升华废气。
1000毫秒内瞬间停电对策
CE 兼容（可选）

利用

惰性气体（CVD、干法蚀刻等）
惰性气体排放（溅射、气相沉积、热处理等）
缩短准备取出室的排气时间（LR系列）
制粉过程中的排气（Si单晶拉制等）
作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）

规格

型号名称			LR1800	UR1800	LR3601	LR3601-TT	LR3601-R	LR3601-TR (TTR)	UR3601-TT
使用的泵	DRP		LR180	UR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T	UR421-T
	MBP		中国-018A		PRC-036C	PRC-036C (-T)	PRC-036D	PRC-036D (DT)	PRC-036C-T
*大排气速度	米³ / 小时	50赫兹	1701	1701	3200				2700
		60赫兹	1784
	升/分钟	50赫兹	28350	28350	53333				45000
		60赫兹	29700
达到压力	帕		0.67
*大排气压力（吸入压力）			气压 *
*大排气口压力（排气压力）			1Pa～大气压
进气口 *			VG150 (KF100)	VG150
排气口			KF40		KF50
干泵表面处理			○ ○	○ ○	○ ○	○ ○	○ ○	○ ○	○ ○
机械增压泵表面处理			○ *	○ ○	×	T: × TT: ○	×	TR: × TTR: ○	○ ○
大量的	公斤		553		660	720	660	720	720
电力	三相	VAC (赫兹)	200 (50/60), 220 (60)		180-240 / 380-440 (50/60)
当前值	常规时间	一个	21.4	29.2	31		35.4		39.8
	*大值	一个	39.8	34.9	58.4		82		68.3
冷却水一次压力	兆帕		0.1 至 0.3		0.2 至 0.5
冷却水进/出口压差	兆帕		> 0.1		> 0.2
冷却水流量	升/分钟		> 5.0		> 4.0				> 5.0
吹扫气体	初级压力	兆帕	0.1-0.5
	二次压力	兆帕	0.05-0.1
N ₂吹扫	轴	SLM	五
	气涨	SLM	0-45	0-195	无 * 1	0-45	无 * 1	0-45	0-195

* 订货时请注明工作电压。
* 请勿在 200 Pa 或更高的吸入压力下连续运行 HR300、HR / UR600 和 HR / UR1200。泵温度可能会变得异常，联锁装置可能会工作。
* LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT的MBP可选择带或不带表面处理。
* JIS 法兰是进气口的标准。如果它是 CE 兼容的，它将是 NW 类型。
* 1 可用于气体松动的规格可根据应用进行估算。

■ 消音器（选项）

模型	材料	表面处理	质量（公斤）	连接法兰
RS-01	SUS304	GBB处理	4.1	NW40
RS-02	SUS304	GBB处理	8.3	NW40
RS-03	SUS304	抛光板	12.5	NW50

■ 型号兼容性表

套件名称	拟合模型	夹钳	外环	连接配管	停留
RS-01 套件 A	LR60、LR90、LR300	1	1	-	-
RS-01 套件 B	LR600、LR1200	2	2	1	1
RS-02 套件 A	LR180（LR60、LR90、LR300）	2	2	1	1
RS-02 套件 B	LR1800（LR600、LR1200）	2	2	1	1
RS-03 套件 A	LR421 (-T)	1	1	1	1
RS-03 套件 B	LR3601 (-T / TT / R / TR / TTR)	3	3	1	1

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