飞溅离子泵
PST系列
特征 兼容极高的真空度。用 ISO 标准测试圆顶证明了10-9 Pa的极限压力。 惰性气体排气强化型（AU型）的排气性能是氩气的2倍。（与我们公司相比） 在超高真空范围内实现较大的排气速度。 短时间内排到超高真空区。 在超高真空区具有出色的启动特性。（放电持续到超高真空区） 利用 加速器 电子显微镜 电子束光刻系统 不喜欢振动的分析设备 使用超高真空环境等 规格 模型 PST-030CU PST-030AU PST-050CU PST-050AU PST-100CX PST-100AX 排放目标气体 惰性气体 惰性气体 惰性气体 惰性气体 惰性气体 惰性气体 再生排气速度 * 0.03m 3 / s N 2测量气体时 0.013m 3 / s Ar 测量时 0.045m 3 / s N 2测量气体时 0.016m 3 / s Ar测量 0.10m 3 / s N 2测量气体时 0.05m 3 / s Ar测量 达到压力 10 -9帕 运营压力 推荐值 <8.0 × 10 -3帕 <5.0 x 10 -3帕 内部容积 0.67 X 10 -3米3 1.3x10 -3米3 3.3x10 -3米3 泵元件数量 CU型电池×1套 AU 型电池 x 1 套 CU型电池×1套 AU 型电池 x 1 套 CX 型电池 x 1 套 AX 型电池 x 1 套 连接法兰型号 UFC070 UFC114 UFC 152 外加电压 直流+7.5kV 加热器加热器 无设置 单相AC200V、300W 单相AC200V，320W 标准烘烤 温度 250℃ 大量的 9.5 公斤 12公斤 37公斤 外形尺寸 W × D × H 103 x 183 x 187 毫米 153 x 204 x 241 毫米 155 x 336 x 340 毫米 使用环境 温度范围 5～40℃ 湿度范围 85%以下（无结露） 泵 固定螺栓孔尺寸 4处-M5 深度10mm 4处-M8 深度6mm 推荐控制器 GST-07L-B * 使用 GST-07L 控制器时 模型 PST-110AU PST-200CXII PST-200AXII PST-400CXII PST-400AXII 排放目标气体 惰性气体 惰性气体 惰性气体 惰性气体 惰性气体 再生排气速度 * 0.11m 3 / s N 2测量气体时 0.2m 3 / s N 2测量气体时 0.02m 3 / s Ar 测量时 0.36m 3 / s N 2测量气体时 0.19m 3 / s Ar测量 达到压力 10-9帕_ 10 -10帕 运营压力 推荐值 <4.5x10 -3帕 <3.8x10 -3帕 <3.0x10 -3帕 内部容积 6.5x10 -3米3 11x10 -3米3 14x10 -3米3 泵元件数量 AU型电池x2 CX 型细胞 x 2 公式 AX 型电池 x 2 CX 型细胞 x 4 公式 AX 型电池 x 4 种 连接法兰型号 UFC 152 UFC203 外加电压 直流+7.5kV 加热器加热器 无设置 单相AC200V、600W 单相AC200V、800W 标准烘烤温度 250℃ 大量的 36.5公斤 65公斤 124公斤 外形尺寸 W × D × H 171 x 387 x 293 毫米 296 x 361 x 376 毫米 296 x 544 x 376 毫米 使用环境 温度范围 5～40℃ 湿度范围 85%以下（无结露） 泵固定螺栓孔尺寸 4处-M6 深度15mm 4位-M8 深15mm 6个位置-M8 深度15mm 推荐控制器 GST-07L-B * 使用 GST-07L 控制器时 PST系列控制器 模型 GST-07L-B 输入规格 输入电压/电流 AC100 ～ 115V ± 10% ・ 50 / 60Hz ～ 3.0A AC200-240V ± 10% ・ 50 / 60Hz-1.5A 漏电流 6mA以下 输入电压切换方式 手动（通过电源内部的 DIP 开关操作） 输出规格 额定电压 DC + 7.5kV（约1.0至7.5kV的可变体积） 额定电流 DC30mA以下 输出极性 正极 输出特性 恒压特性 显示方式 数显（7段LED显示） 显示内容 输出电流显示范围 1μA～30mA（mA、μA 2档自动切换） 输出电压显示范围 DC0.0-7.5kV 压力显示 帕显示 1×10 -8 ~ 1×10 -2 mbar 显示 1×10 -10～1×10 -4 压力设定点 2 分 保护功能 配备错误显示/多种保护功能 显示屏点亮时高压 (HV) 输出截止 (Err. 0-8) 停电后恢复 当 HV-ON 开关打开时，可在断电后自动恢复。 外控功能 具有多种输入功能（带REMOTE接口），配备RS232C通讯控制 MONITOR 端子输出信号 输出与面板 7 段显示成比例的信号，每个范围 DC0 至 10VF.S。 容许负载阻抗 100 kΩ 以上 远程/本地 通过前面板开关切换 冷却方式 强制风冷方式 大量的 身体 4.0公斤 外形尺寸 宽 × 高 × 深 200 x 99 x 370mm（不包括机架安装支架） 使用环境 温度范围 0-40℃ 湿度范围 85%以下（无结露） 符合标准 CE, cTUVus 排气速度曲线 PST-030CU_AU PST-050CU_AU PST-100CX_AX PST-110AU PST-200CXII_AXII PST-400CXII_AXII 尺寸图 PST-030CU_AU PST-050CU_AU PST-100CX_AX PST-110AU PST-200CXII_AXII PST-400CXII_AXII
* 使用 GST-07L 控制器时
蓉公网安备 51012402000290号
