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成都西野：ULVAC爱发科涡轮分子泵

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产品名称: 成都西野：ULVAC爱发科涡轮分子泵
产品型号: UTM-FH系列UTM-350FH
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

ULVAC 一种复合叶片式涡轮分子泵，采用数字式 5 轴控制磁力轴承。 UTM-FH和UTM-FW采用数字5轴控制磁浮轴承，实现了高功能、高可靠性和节能等优点。


成都西野：ULVAC爱发科涡轮分子泵  的详细介绍

涡轮分子泵

UTM-FH系列

UTM-FH

ULVAC

一种复合叶片式涡轮分子泵，采用数字式 5 轴控制磁力轴承。
UTM-FH和UTM-FW采用数字5轴控制磁浮轴承，实现了高功能、高可靠性和节能等优点。
FH系列是高背压高压缩型，是提高氢气压缩比的轻中型工艺的理想选择。

特征

  • 配备监控/自我诊断功能和通讯功能，可以通过数字化支持集中管理系统。
  • 配备无耦合系统。
    一个电源可以通过切换型号与注册的泵体结合使用。
  • 可以针对背压的变化保持稳定的排气特性。

  • 也可选择优异的耐腐蚀表面处理（镀镍+阳离子电沉积涂层、特殊层压涂层、氧化铝等） 。
  • 可以全方位安装。
  • 配备变速系统。排气速度可以在 25% 到 100% 的范围内变化。
  • 采用破坏性能量吸收结构，在发生故障时减少设备损坏的高度**设计。
  • 通过大气涌入试验、各种接地试验、转子叶片破坏试验、异物污染（晶片落下）试验等，实现
    高耐久性和高可靠性。
  • CE 兼容

利用

  • 气相沉积设备、溅射设备、干法刻蚀设备等无副反应产物
    的轻到中间工序的主要排气。
  • 分析仪、研发设备、实验设备等主要排气
  • 上述排气系统的H 2 、He等轻质气体的主排气
  • 多站使用TMP和使用背泵集中排气的应用

规格

模型 UTM-350FH UTM-480FH UTM-800FH UTM-1001FH UTM-3303FH
法兰口径 进气口 VG100 ICF152 VG150 ICF203 VG150 ICF203 VG200 ICF253 VG350
排气口 NW25 NW40
排气速度*1*2 升/秒 氮2 350 330 480 480 810 740 1000 1000 3300
H 2 320 310 310 340 340 530 520 570 570 2400
极限压力*1*3 帕 10 -8
*大压缩比*1*3 氮2 > 10 10 > 10 9 > 10 11
H 2 1×10 4 3×10 4 9×10 4
N 2*大进气口压力
（*大流量时）*1*4 		水冷 帕 43 18 18 9
风冷 8 0.7 ――――
N 2*大排气口压力
（*大流量时）*1*4 		水冷 帕 410 180 210 210
风冷 240 50 ――――
N 2连续运行
*大流量*4 		水冷 SCCM 850 1100 1800
风冷 480 260 ――――
Ar连续运行
*大流量*4 		水冷 SCCM 370 480 1100
风冷 160 110 ――――
旋转速度 转数 45000 36000 22200
开始时间/停止时间 分钟 关于 4.0 / 4.0 约 6.0 / 10.0 关于 12/16
轴承方式 数字5轴控制磁轴承
叶片表面处理 镀镍 无处理
车身烘烤
温度 		℃ ≤120
冷却方式 水冷/风冷可选 水冷
冷却水连接口 RC 3/8
冷却水流量 升/分钟 ≧ 3.0
冷却水
进/出口压差 		兆帕 ≧ 0.05
气体吹扫口 NW10 没有任何
气体吹扫流量 SCCM 十 二十五 没有任何
身体质量 公斤 17 17 28 28 86
标准辅助泵*5 升/分钟 290 800 1500
噪音 分贝 64 65 65 55 55
电源容量 千伏安 0.6 0.9。 1.6 1.6
输入电压 醋栗 单相200-240
输入频率 赫兹 50/60
电机驱动系统 变频调速
恒定输出频率 赫兹 750 600 370
允许环境温度 ℃ 0～40
大量的 公斤 10.0
采集标准 行政长官

注）本规格表中的数值为实测数据的代表值，并非保证值。
* 1 根据 JVIS005 标准测量值。此外，计算值基于测量值。
* 2 未附加保护丝网的值。
* 3 表示订单。
* 4 标准表面处理的标准辅助泵的排放值。
如需在*大进气压力附近长期连续使用，请与我们联系。
* 5 根据气体流量选择大容量的泵。

尺寸图


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