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成都西野：ULVAC爱发科涡轮分子泵

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产品名称: 成都西野：ULVAC爱发科涡轮分子泵
产品型号: UTM-B系列UTM70B
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

ULVAC 使用陶瓷球轴承的复合叶片式涡轮分子泵。 通过集成控制器和泵实现节省空间。


成都西野：ULVAC爱发科涡轮分子泵  的详细介绍

涡轮分子泵

UTM-B系列

UTM-B

ULVAC

使用陶瓷球轴承的复合叶片式涡轮分子泵。
通过集成控制器和泵实现节省空间。
优异的高背压特性使辅助泵的小型化成为可能。

特征

  • 安装方向自由
    由于没有安装方向的限制，因此扩大了设备设计的自由度。
  • 由于搭载车载
    控制器的控制器安装在涡轮主体上，因此对节省布线和排气系统的小型化很有效。

  • 辅助泵可以小型化，因为它具有高压缩比和高排气压力压缩比，并且可以在高背压下运行。
  • 三种类型的法兰可供选择
    VG、ICF 和 ISO-K 三种类型的进气法兰可供选择。

  • 它的设计旨在减少碳氢化合物的回流，不仅在清洁真空操作期间，而且在泵停止时也是如此。

利用

  • 分析仪、研发设备、实验设备等主要排气系统。
  • 蒸镀设备、溅射设备等的主排气系统。
  • H2、He等轻质气体的主排气系统

规格

模型 UTM70B UTM300B
泵 冷却方式 自然风冷 强制风冷 自然风冷 强制风冷
法兰口径 进气口 * 1 VG65、ICF114、ISO063-K VG100、ICF152、ISO100-K
排气口 KF16 KF16
排气速度
（不带防护网） 		氮2 70升/秒 280升/秒
他 60升/秒 270升/秒
H 2 49升/秒 220升/秒
极限压力
*2 		烘烤后 -* 3 10 -8帕 -* 3 10 -8帕
烘烤前 10 -6帕 10 -6帕 10 -6帕
*大压缩比 N2:> 1 × 10 9 , He: 4 × 10 7 , H2: 4 × 10 5 N2：> 1 × 10 9 , He: 7 × 10 6, H2: 1 × 10 5
*大进气压力
*4、*5、*6 		氮2 0.43Pa 1.1Pa 0.06Pa 0.7Pa
*大排气口压力
*4、*5、*7 		氮2 300Pa 900Pa 100Pa 1000Pa
连续运行*大流量
*8
无气体吹扫 		氮2 15sccm * 9 40sccm * 9 10 厘米 * 10 100 立方厘米 * 10

无气体吹扫 		氩 ―――― 10 厘米 * 9 ―――― 30sccm * 10

带气体吹扫 		―――― 15sccm * 9 ―――― 40sccm * 10
推荐辅助泵
（10SCCM吸入时）*11 		60L/min以上 120L/min以上
大量的 VG：3.3kg，ISF：3.0kg，ISO：5.0kg 6.0kg / 9.0kg 6.3公斤/9.3公斤
旋转速度 87000转 60000转
启动时间（*高80%）
（DC24V背压5Pa以下时） 		1.7 分钟 3.5 分钟
表面处理*12 没有任何
安装方向 每个方向
噪音 * 13 48dB (A) 或更低 50 分贝 (A) 或更低
电源规格 输入电源 DC24V±5%, 120W DC24V±5%, 180W
接点输入/输出 REMOTE（D-sub 15针公头）数字输入/输出4点，模拟输出1点
串行通信 RS-485（D-sub 15 针公头，与 REMOTE 共用）
LED显示屏 电源、正常、报警
转变 开始/停止，复位
可变转速 转速可在指定泵数的 25% 和 100% 之间改变（设置以 0.1% 为单位）。
异常检测 检测警报和警告
保护措施 显示警报和警告
标准配件 使用说明书（CD-R）、保护网（仅   限 VG、ICF。ISO 法兰内置于垫片中）、
垫片（进气口用）、防尘盖（进气口、排气口、连接器用）各 1 个
适用标准 CE, TUVus
* 1 订货时请选择进气法兰。
* 2 使用二级辅助泵时
* 3 只有在对 ICF 法兰使用强制风冷时才能进行烘烤。
*四个 这是环境温度为 25°C 时的值。允许值随环境温度变化而变化。
*五 *大进气口压力和*大排气口压力不能同时满足。
* 6 允许连续排气的*大进气口压力。
* 7 当来自进气口的废气流量为0 sccm时，排气口可连续工作的*大压力。
* 8 这是环境温度为 5 至 25°C 时的值。请使用N 2气体 25sccm 进**体吹扫。
* 9 这是使用辅助泵60L/min时的值。
*十 这是使用辅助泵120L/min时的数值。
* 11 如果气体量大，选择辅助泵，使排气口压力低于*大排气口压力。
* 12 请勿让反应性气体、腐蚀性气体或含 Ga 气体流动。请与我们联系以获取其他信息。
*13 ISO法兰型。根据我们的测量方法。

尺寸图

  • UTM-70Butm-b_size_jp1.png
  • UTM-300Butm-b_size_jp2.png
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