产品资料

成都西野：ULVAC爱发科涡轮分子泵

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产品名称: 成都西野：ULVAC爱发科涡轮分子泵
产品型号: UTM-MI系列UTM -350FW
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

ULVAC 一种复合叶片式涡轮分子泵，采用数字式 5 轴控制磁力轴承。 UTM-FH和UTM-FW采用数字5轴控制磁浮轴承，实现了高功能、高可靠性和节能等优点。


成都西野：ULVAC爱发科涡轮分子泵  的详细介绍

涡轮分子泵

UTM-MI系列

UTM-FW

ULVAC

一种复合叶片式涡轮分子泵，采用数字式 5 轴控制磁力轴承。
UTM-FH和UTM-FW采用数字5轴控制磁浮轴承，实现了高功能、高可靠性和节能等优点。
FW系列为高频大流量型，适用于高负荷加工和中硬加工。

特征

  • 配备监控/自我诊断功能和通讯功能，可以通过数字化支持集中管理系统。
  • 配备无耦合系统。
    一个电源可以通过切换型号与注册的泵体结合使用。
  • 还提供诸如控制转子温度并减少副反应产物粘附的内部升温系统等选项
    。

  • 也可选择优异的耐腐蚀表面处理（镀镍+阳离子电沉积涂层、特殊层压涂层、氧化铝等） 。
  • 可以全方位安装。
  • 配备变速系统。排气速度可以在 25% 到 100% 的范围内变化。
  • 采用破坏性能量吸收结构，在发生故障时减少设备损坏的高度**设计。
  • 通过大气涌入试验、各种接地试验、转子叶片破坏试验、异物污染（晶片落下）试验等，实现
    高耐久性和高可靠性。
  • CE 兼容

利用

  • 干法蚀刻设备、CVD设备等中硬工艺的主排气系统
  • 干法蚀刻设备、CVD设备、溅射设备等大流量排气应用。
  • 分析仪、研发设备、实验设备等主要排气系统。

规格

模型 UTM 
-350FW 		UTM- 
480FW 		UTM 
-800FW 		UTM 
-1001FW 		UTM 
-1400FW 		UTM 
-2300FW 		UTM 
-3301FW

法兰
口径 		进气口 VG 
100 		ICF
152 		VG 
150 		ICF
203 		VG 
150 		ICF
203 		VG 
200 		ICF 
253 		VG 
250 		VG 
200 		ICF 
253 		VG 
300 		VG 
250 		ICF 
305 		VG 
350
排气口 NW25 NW40
排气
速度
*1*2 		升/秒 350
牛顿2 		330
牛顿2 		480
牛顿2 		480
牛顿2 		810
N 2 		740
牛顿2 		1000 
N 2 		1000 
N 2 		1490
牛顿2 		1360
牛顿2 		1300
牛顿2 		2730
牛顿2 		2230 
N 2 		2110 
N 2 		3300
牛顿2
320
小时2 		310
H 2 		340
小时2 		340
小时2 		530
小时2 		520
小时2 		570
小时2 		570
小时2 		890
小时2 		860
小时2 		860
小时2 		1850
小时2 		1720 
H 2 		1700
小时2 		2400
小时2
极限
压力
*1*3 		帕 10 -7 10 -8 10 -7
*大压缩比*1*3 > 10 10 N2 > 10 9 N2 > 10 8N2
3×10 3 H2 4×10 3 H2 6×10 3 H2 9×10 3 H2 8×10 3
H2
N 2*大
进气
口压力
（
*大流量时）
*1*4 		水冷 76帕 38帕 13帕 7帕 8帕
风冷 16帕 1.2帕 ――――
N 2*大
排气
口压力
（
*大流量时）
*1*4 		水冷 440帕 290 帕 240帕 180帕
风冷 270 帕 70帕 ――――
N 2*大
排气
口压力
（在 SCCM 处）
* 1 * 4 		水冷 650 帕（在 100SCCM 时） 510 帕（在 200SCCM 时） ――――
风冷 520 帕（在 100SCCM 时） 290 帕（在 200SCCM 时） ――――
N 2连续
运行
*大
流量*4 		水冷 950 SCCM 1800 立方厘米 1400 立方厘米 1500 立方厘米
风冷 560 SCCM 370 SCCM ――――
Ar连续
运行
*大
流量*4 		水冷 460 SCCM 700 立方厘米 1000 SCCM 1350 SCCM 1300
立方厘米
风冷 第210章 170 SCCM ――――
旋转速度 转数 45000 36000 32100 24600 21600
开始
时间/
停止
时间 		分钟 关于 4.0 / 4.0 约 6.0 / 10.0 关于 7.0 / 7.0 关于 9.0 / 9.0 关于 12.0 / 16.0
轴承方式 数字5轴控制磁轴承
叶片表面处理 镀镍
车身烘烤温度


 ℃ ≤120
冷却方式 水冷/风冷可选 仅水冷
冷却水连接口 RC 3/8
冷却水
流量 		升/分钟 ≧ 3.0
冷却水
进/出口
压差 		兆帕 ≧ 0.05
气体吹扫口 NW10

气体吹扫
流量 		SCCM 十 二十五 50
体重
_ 		公斤 17 17 28 28 36 60 90
标准
辅助
泵
*5 		升/分钟 290 800 1500
噪音 分贝 64 65 65 63 63 62 58
电源
容量 		千伏安 0.6 0.9。 1.2 1.2 1.3 1.3 2.0 2.0
输入
电压 		醋栗 单相200-240
输入
频率 		赫兹 50/60
电机驱动系统 变频调速
恒定
输出
频率 		赫兹 750 600 535 410 360
允许
环境
温度 		℃ 0～40
大量的 公斤 10.0
采集
标准 		行政长官

注）本规格表中的数值为实测数据的代表值，并非保证值。

* 1 根据 JVIS005 标准测量值。此外，计算值基于测量值。
* 2 未附加保护丝网的值。
* 3 表示订单。
* 4 标准表面处理的标准辅助泵的排放值。
如需在*大进气压力附近长期连续使用，请与我们联系。
* 5 根据气体流量选择大容量的泵。
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