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成都西野供应：ULVAC爱发科油扩散泵

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产品名称: 成都西野供应：ULVAC爱发科油扩散泵
产品型号: ULK-04A
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

ULVAC 的 ULK 油扩散泵是一种高真空排气泵，设计紧凑，具有较大的临界背压。 它广泛用于从研究应用到生产线。


成都西野供应：ULVAC爱发科油扩散泵  的详细介绍

油扩散泵

ULK系列

ULK

ULVAC

ULVAC 的 ULK 油扩散泵是一种高真空排气泵，设计紧凑，具有较大的临界背压。
它广泛用于从研究应用到生产线。

特征

  • 耐用的高真空泵，没有机械滑动部件。
  • 通过选择油和加热器两种类型，可以获得所需的排气速度和极限压力。
  • 配备防止液压油向辅助泵侧流出的机构。

采用

・薄膜沉积设备
・高真空实验设备

规格

模型 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A
排气速度 550升/秒 500升/秒 1200升/秒 1100升/秒 3400升/秒 3000升/秒 5400升/秒 4900升/秒
极限压力*1 <2.6 × 10-5帕 <2.6 × 10-6帕 <2.6 × 10-5帕 <2.6 × 10-6帕 <2.6 × 10-5帕 <2.6 × 10-6帕 <2.6 × 10-5帕 <2.6 × 10-6帕
临界背压 40帕 60帕 40帕 60帕 35帕 40帕 30帕 30帕
工作开始时间 9 分钟 8.5 分钟 16.5 分钟 15 分钟 20 分钟 20 分钟 25 分钟 25 分钟
液压油*2 ULVOIL 
D-11 		ULVOIL 
D-31 		ULVOIL 
D-11 		ULVOIL 
D-31 		ULVOIL 
D-11 		ULVOIL 
D-31 		ULVOIL 
D-11 		ULVOIL 
D-31
油量 0.15 升 0.35 升 0.8 升 1.5升
水温 19℃～25℃
冷却水进水口
（尺寸 x 系统数量） 		RC 1/4" RC 1/4" RC 3/8" RC 3/8"
冷却水量 1升/分钟 1升/分钟 1.5升/分钟 2.5升/分钟 3升/分钟 2.5升/分钟 3.5升/分钟
电压规格 200V / 1Φ
电力需求 0.55 千瓦 0.73 千瓦 0.9 千瓦 1.2千瓦 2.4 千瓦 2千瓦 2.25 千瓦 2.4 千瓦
加热器类型 热菜 热菜 热菜 热菜
推荐辅助泵*3 VD151 / VD201 / 
PVD-180 / PVD-360 		VD30C / VD40C / 
VD60C 		VD90C / VS1501 / 
PKS-016 / PKS-030 		VS1501 / VS2401 / 
PKS-030
外径*4 一种 175 毫米 250 毫米 340 毫米 340 毫米
乙 150 毫米 180 毫米 240 毫米 240 毫米
H 344 毫米 449 毫米 650 毫米 670 毫米
进气口 VG100 VG150 VG250 VG350
排气口 VG25 VG40 VG80 VG80
大量的 7.5公斤 13.5 公斤 47公斤 56 公斤
油位计 没有任何 没有任何 视口 视口
恒温器
选项 		是的 是的 是的 是的
恒温器
设定温度 		250℃ 250℃ 180℃ 180℃

* 1 极限压力是通过电离真空计测得的冷却水量为 20°C 时的压力。
* 2 D-11是烃基通用油，D-31是硅基扩散泵油，具有高耐热性和稳定性。
* 3 辅助泵的选择是针对扩散泵的*大流量，但一般情况下，考虑到粗抽时间，使用大于此处所示的机械增压泵和油回转真空。使用泵。
* 4 其他尺寸请参考我们网站上发布的CAD 数据（2D 图纸、3D 图纸） 。

排气速度曲线

  • ULK-04A / 06A
ULK-04A_06A_curves.png
  • ULK-10A / 14A
ULK-10A_14A_curves.png

尺寸图

ULK.png
ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A
一种 175 毫米 250 毫米 340 毫米 340 毫米
乙 150 毫米 180 毫米 240 毫米 240 毫米
C 342.5 毫米 449 毫米 650 毫米 670 毫米
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