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ULVAC爱发科飞溅离子泵

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: ULVAC爱发科飞溅离子泵
产品型号: PST-030CU / AU
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

利用溅射活性钛的吸气作用的超高真空泵（actor pump）。


ULVAC爱发科飞溅离子泵  的详细介绍

飞溅离子泵

PST系列

PST-030CU / AU

ULVAC

利用溅射活性钛的吸气作用的超高真空泵（actor pump）。

特征

  • 兼容极高的真空度。用 ISO 标准测试圆顶证明了10-9 Pa的极限压力。
  • 惰性气体排气强化型（AU型）的排气性能是氩气的2倍。（与我们公司相比）
  • 在超高真空范围内实现较大的排气速度。
  • 短时间内排到超高真空区。
  • 在超高真空区具有出色的启动特性。（放电持续到超高真空区）

采用

  • 加速器
  • 电子显微镜
  • 电子束光刻系统
  • 不喜欢振动的分析装置
  • 使用超高真空环境等

规格

排气速度（再生排气速度）
N 2 : 0.03m 3 / s (CU·AU)
0.02m 3 /s（在1x10 -7 Pa）
达到压力 10 -9帕单位
运营压力 <8.0 × 10 -3 Pa (推荐值) 
(*大使用压力1 × 10 -2 Pa) 
* 使用GST-07L控制器时
内部容积 大约 6.7 X 10 -4 m 3
泵元件数量 CU 型电池 x 1 套、AV 型电池 x 1 套
连接法兰型号 UFC070
外加电压 直流+7.5kV
标准烘烤温度 250℃
大量的 约9.5KG
外形尺寸 W × D × H 103 x 183 x 187 毫米

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