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成都西野供应：ULVAC爱发科飞溅离子泵

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产品名称: 成都西野供应：ULVAC爱发科飞溅离子泵
产品型号: PST-110AU
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

利用溅射活性钛的吸气作用的超高真空泵（actor pump）。


成都西野供应：ULVAC爱发科飞溅离子泵  的详细介绍

飞溅离子泵

PST系列

PST-110AU

ULVAC

利用溅射活性钛的吸气作用的超高真空泵（actor pump）。

特征

  • 兼容极高的真空度。用 ISO 标准测试圆顶证明了10-9 Pa的极限压力。
  • 惰性气体排气强化型（AU型）的排气性能是氩气的2倍。（与我们公司相比）
  • 在超高真空范围内实现较大的排气速度。
  • 短时间内排到超高真空区。
  • 在超高真空区具有出色的启动特性。（放电持续到超高真空区）

采用

  • 加速器
  • 电子显微镜
  • 电子束光刻系统
  • 不喜欢振动的分析装置
  • 使用超高真空环境等

规格

再生排气速度
（at 1.0 x 10 -7 Pa）

N2 0.06m 3 / 秒
* *大 0.11m 3 / 秒
氩 ――――
达到压力 10 -9帕
工作压力（* 1） 推荐值 <4.5 × 10 -3帕
内部容积 6.5×10 -3 m 3
元素数量 2种
*可更换
外加电压 直流+7.5kv
放电强度特性值 6.6A/帕
法兰口径 UFC 152
烘烤温度 250℃
加热器加热器 无设置
大量的 36.5公斤
外形尺寸 W × D × H 171 x 387 x 293 毫米
使用环境 温度范围 5-40℃
湿度范围 85%以下（无结露）
泵固定螺栓孔尺寸 4个位置-M6
深度15mm
推荐控制器 GST-07L-B

* 1) GST-07L-B：使用控制器时


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