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成都西野供应：ULVAC爱发科飞溅离子泵

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产品名称: 成都西野供应：ULVAC爱发科飞溅离子泵
产品型号: PST-200CXII / AXIII
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

利用溅射活性钛的吸气作用的超高真空泵（actor pump）


成都西野供应：ULVAC爱发科飞溅离子泵  的详细介绍

飞溅离子泵

PST系列

PST-200CXII / AXIII

ULVAC

利用溅射活性钛的吸气作用的超高真空泵（actor pump）。

特征

  • 兼容极高的真空度。使用 ISO 标准测试圆顶实现10-10 Pa的极限压力。
  • 惰性气体排气强化型（AXU型）的排气性能是氩气的2倍。（与我们公司相比）
  • 在超高真空范围内实现较大的排气速度。
  • 短时间内排到超高真空区。
  • 在极高真空区具有出色的启动特性。（放电持续到超高真空区）

采用

  • 加速器
  • 电子显微镜
  • 电子束光刻系统
  • 不喜欢振动的分析装置
  • 使用超高真空环境等

规格

排气速度（再生排气速度）
1×10 -7 Pa
N 2 : 0.20m 3 / s (CX2 / AX2)
阿尔： 0.02m 3 / s (CX2) 
0.105m 3 / s (AX2)
达到压力 10 -10帕单位
运营压力 <3.8 × 10 -3 Pa (推荐值) 
(*大使用压力1 × 10 -3 Pa) 
*使用GST-07L控制器时
内部容积 约0.011m 3
泵元件数量 CX2 型电池 x 2 型、AX2 型电池 x 2 型
连接法兰型号 UFC203
外加电压 直流+7.5kV
标准烘烤温度 250℃
大量的 约 65 kg（带加热器和盖子）
外形尺寸 W × D × H 296 x 361 x 376 毫米
加热器单元所需功率 单相200V 约600W

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