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成都西野供应：ULVAC爱发科涡轮分子泵

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产品名称: 成都西野供应：ULVAC爱发科涡轮分子泵
产品型号: UTM1600A
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

带有使用磁轴承的集成控制器的涡轮分子泵。 通过集成泵体和控制器，实现了布线和节省空间。


成都西野供应：ULVAC爱发科涡轮分子泵  的详细介绍

涡轮分子泵

UTM-MI系列

UTM1600A

ULVAC

带有使用磁轴承的集成控制器的涡轮分子泵。
通过集成泵体和控制器，实现了布线和节省空间。

特征

  • 泵体与控制器一体化
  • 安装方向自由
    由于没有安装方向的限制，因此扩大了设备设计的自由度。
  • 排气速度从 1000L/s 到 4000L/s 的阵容。
  • 轻工艺的大面积大流量设计
    泵转速可在25-100%的范围内变化，转速可改变，腔室压力可调节。
  • 高耐久性和**性
    我们通过了各种**确认测试，例如大气进入测试和着陆测试。

采用

  • 各种设备的真空主排气系统
    、半导体制造设备
    、蒸镀设备
    、溅射设备
    、分析设备、实验设备等
    、研发设备
  • 无副反应产物的轻工艺主排气系统
  • 更换油扩散泵车载设备
  • 此外，一般高真空排气应用

规格


模型 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A
进气口 VG150 
ISO160F 		VG200 / VG250 
ISO200F / ISO250F 		VG250 
ISO250F 		VG300 / VG350 
ISO320F
排气口 KF40
极限压力 (* 1) 帕 10 -7
排气速度 (* 2) (* 3) N2 升/秒 1030 1400 2100 3200
氩 升/秒 980 1330 2000 3100
H2 升/秒 660 750 1380 2100
压缩率 N2 2×10 8 1 x 10 8或更多 1 x 10 9或更多
他 7 × 10 3 5×10 3 1×10 5
H2 8 × 10 2 9 × 10 2 6 × 10 3
*大进气压力 (* 4) 帕 26 4.5 4.5 7
*大排气口压力 (* 4) 帕 266 200 270
旋转速度 min-1 37200 33700 27600
可变转速功能 运行转速可在泵指定转速的 25% 和 100% 之间变化。（设置以 0.1% 为单位）
启动时间 8分钟内 9分钟内 16分钟内
安装方向 可全方位安装
表面处理（*5） 没有
外部控制 远程接口 D-sub 25针母接点输入/输出 D-sub 37针母接点输入/输出
串行接口 专用圆形连接器 RS232C / RS485 D-sub 9 针公头 RS232C / RS485
控制器 宪法 与泵体一体化（内置于底部）
电源 单相 AC200-240V ± 10% (50 / 60Hz ± 2Hz)
*大所需功率 0.75kVA 1.2kVA
冷却方式 水冷
冷却水（* 6） 流量 升/分钟 3-4
水压力 兆帕克 0.2-0.4
噪音 分贝 (A) 57 57 60
大量的 公斤 43 41 41 56 94
推荐的辅助泵（* 7） 600L/min以上 1500L/min以上
符合标准 CE, TUVus
标准配件 进气口 O 型圈（仅 VG）、排气口防尘盖、遥控器连接器、使用说明书（CD-ROM）
选择规格 交流电缆 AC连接器/AC电缆（5m / 10m / 15m / 20m）
固定泵的专用螺栓 M10（不符合 RoHS/符合 RoHS）/M12（不符合 RoHS/符合 RoHS）
固定泵专用螺栓的必要性 需要 (M10) (* 8) 不需要 (* 8)
可选配件 气口适配器：KF10

* 1：表示订单。

* 2：没有防护网时的值。

* 3：UTM2300A 和 UTM3400A 是计算值。

* 4：*大进气口压力和*大排气口压力不能同时满足。

* 5：不要让反应性气体或腐蚀性气体流动。其他气体请联系我们。

* 6：无冷凝。

* 7:30 在 SCCM 吸引时。

* 8：螺栓强度和固定方法有不同的条件。详情请参阅规格。


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