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成都西野供应：ULVAC爱发科涡轮分子泵

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产品名称: 成都西野供应：ULVAC爱发科涡轮分子泵
产品型号: UTM70B
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

使用陶瓷球轴承的复合叶片式涡轮分子泵。 通过集成控制器和泵实现节省空间。 优异的高背压特性使辅助泵的小型化成为可能。


成都西野供应：ULVAC爱发科涡轮分子泵  的详细介绍

涡轮分子泵

UTM-B系列

UTM70B

ULVAC

使用陶瓷球轴承的复合叶片式涡轮分子泵。
通过集成控制器和泵实现节省空间。
优异的高背压特性使辅助泵的小型化成为可能。

特征

  • 安装方向自由
    由于没有安装方向的限制，因此扩大了设备设计的自由度。
  • 由于搭载车载
    控制器的控制器安装在涡轮主体上，因此对节省布线和排气系统的小型化很有效。

  • 辅助泵可以小型化，因为它具有高压缩比和高排气压力压缩比，并且可以在高背压下运行。
  • 三种法兰可供选择
    进气法兰有VG65、ICF114和ISO63-K三种可供选择。

  • 它的设计旨在减少碳氢化合物的回流，不仅在清洁真空操作期间，而且在泵停止时也是如此。
  • 噪音
    空载运行时的噪音低至 48 dB 或更低。（ISO63-K法兰型测量值。）

采用

  • 分析仪、研发设备、实验设备等主要排气系统。
  • 蒸镀设备、溅射设备等的主排气系统。
  • H2、He等轻质气体的主排气系统

规格

模型
UTM70B
泵
冷却方式 自然风冷 强制风冷
进气口侧法兰*1 VG65、ICF114、ISO063-K
排气口侧法兰 KF16
排气速度（不带防护网）
氮2
70升/秒
他
60升/秒
H 2
49升/秒
极限压力（使用二级辅助泵时）*2、*3
烘烤后
―――― 10 -8帕
烘烤前
10 -6帕
*大压缩比 N 2 :> 1 × 10 9 , He: 4 × 10 7 , H 2 : 4 × 10 5
*大进气压力*4、*5、*6
氮2
0.43Pa 1.1Pa
*大排气口压力*4、*5、*7
氮2
300Pa 900Pa
连续运行*大流量*8
使用辅助泵时60L/min
无气体吹扫
氮2
15sccm 40sccm
无气体吹扫
氩
―――― 10sccm
带气体吹扫
―――― 15sccm
推荐辅助泵（10SCCM吸入时）*9 60L/min以上
质量 * 10 VG：3.3kg，ISF：3.0kg，ISO：5.0kg
旋转速度 87000转
启动时间（*高80%）（DC24V背压5Pa以下时） 1.7 分钟
表面处理*11 没有
安装方向 每个方向
噪音 * 12 48dB (A) 或更低
电源规格
输入电源 DC24V±5%, 120W
接点输入/输出 远程（D-sub 15 针公头）
4 个数字输入，1 个模拟输出
串行通信 RS-485（D-sub 15 针公头，与 REMOTE 共用）
LED显示屏 电源、正常、报警
转变 开始/停止，复位
可变转速 转速可在指定泵数的 25% 和 100% 之间改变（设置以 0.1% 为单位）。
异常检测 检测警报和警告
保护措施 显示警报和警告
标准配件

使用说明书（CD-R）、保护网（仅VG、ICF。
垫圈内置ISO法兰）、垫圈（进气口用）、防尘盖（进气口、
排气口、连接器用）各1个

* 1 订购时请选择VG65、ICF114、ISO63-K。
* 2 显示顺序。
* 3 只有在对 ICF 法兰使用强制风冷时才能进行烘烤。
*四个 这是环境温度为 25°C 时的值。允许值随环境温度变化而变化。
*五 *大进气口压力和*大排气口压力不能同时满足。
* 6 允许连续排气的*大进气口压力。
* 7 它是当来自进气口的废气流量为0 sccm时，可以连续工作的排气口的*大压力。
* 8 这是环境温度为 5 至 25°C 时的值。请使用N 2气体 25sccm，气体吹扫。
* 9 如果气体量大，选择辅助泵，使排气口压力小于或等于*大排气口压力。
*十 带风冷风扇的 UTM70B 重量重 0.2kg。
* 11 请勿让反应性气体、腐蚀性气体或含有 Ga 的气体流动。其他气体请联系我们。
* 12 ISO法兰型。这取决于我们的测量方法。

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