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成都西野供应：ULVAC爱发科涡轮分子泵

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产品名称: 成都西野供应：ULVAC爱发科涡轮分子泵
产品型号: UTM300B
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

使用陶瓷球轴承的复合叶片式涡轮分子泵。 通过集成控制器和泵实现节省空间。 优异的高背压特性使辅助泵的小型化成为可能。


成都西野供应：ULVAC爱发科涡轮分子泵  的详细介绍

涡轮分子泵

UTM-B系列

UTM300B

ULVAC

使用陶瓷球轴承的复合叶片式涡轮分子泵。
通过集成控制器和泵实现节省空间。
优异的高背压特性使辅助泵的小型化成为可能。

特征

  • 由于对安装方向没有限制，因此扩大了设备设计的自由度。
  • 配备板载控制器。由于控制器安装在涡轮本体上，因此对节省布线和排气系统的小型化非常有效。
  • 辅助泵可以小型化，因为它具有高压缩比并且可以在高背压下运行。
  • 可以选择 VG100、ICF152 和 ISO100-K 三种类型的进气法兰。
  • 它的设计使得碳氢化合物不仅在运行期间而且在泵停止时几乎没有回流。
  • 空载运行时的噪音低至 50 dB 或更低。（ISO-100K法兰型测量值）
  • 符合 CE、NRTL 标准

采用

  • 分析仪、研发设备、实验设备等主要排气系统。
  • 蒸镀设备、溅射设备等的主排气系统。
  • H 2和 He等轻质气体的主排气系统

规格

模型
UTM300B
冷却方式 自然风冷 强制风冷
进气口侧法兰*1 VG100、ICF152、ISO100-K
排气口侧法兰 KF16
排气速度（不带防护网）
氮2
280升/秒
他
270升/秒
H 2
220升/秒
极限压力（使用二级辅助泵时）
烘烤后
* 2 10-8Pa
烘烤前
10 -6帕 10 -6帕
*大压缩比 N 2 :> 1 × 10 9 , He: 7 × 10 6 , H 2 : 1 × 10 5
*大进气压力*3、*4、*5
氮2
0.06Pa 0.7Pa
*大排气口压力*3、*4、*6
氮2
100Pa 1000Pa
连续运行*大流量*7
使用辅助泵时120L/min
无气体吹扫
氮2
10sccm 100sccm
无气体吹扫
氩
―――― 30 立方厘米
带气体吹扫
―――― 40sccm
推荐辅助泵（10SCCM吸入时）*8 120L/min以上
大量的
VG、ISO/ICF
6公斤/9公斤 6.3公斤/9.3公斤
旋转速度 60000转
启动时间（*高80%）（DC24V背压5Pa以下时） 3.5 分钟
表面处理*9 没有
安装方向 每个方向
噪音 * 10 小于 50 分贝 (A)
标准配件 使用说明书（日文和英文）、防护网帽（仅VG、ICF、
垫片内置 ISO 法兰）、垫片（进气口用）、
防尘帽（进气口、排气口、连接器用）各 1 个
* 1 订购时请选择VG100、ICF152、ISO100-K。
* 2 只有在对 ICF 法兰使用强制风冷时才能进行烘烤。
* 3 这是环境温度为 25°C 时的值。允许值随环境温度变化而变化。
*四个 *大进气口压力和*大排气口压力不能同时满足。
*五 允许连续排气的*大进气口压力。
* 6 当来自进气口的废气流量为0 sccm时，排气口可连续工作的*大压力。
* 7 这是环境温度为 5 至 25°C 时的值。请使用N 2气体 25sccm ，气体吹扫。
* 8 如果气体量大，选择辅助泵，使排气口压力低于*大排气口压力。
* 9 请勿让反应性气体、腐蚀性气体或含 Ga 气体流动。请与我们联系以获取其他信息。
*十 ISO法兰型。根据我们的测量方法。
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