油扩散泵
ULK系列
ULVAC
油扩散喷射泵ULK系列
・薄膜沉积设备 ・高真空实验设备
* 1 极限压力是通过电离真空计测得的冷却水量为 20°C 时的压力。 * 2 此处选择的辅助泵是针对扩散泵的*大流量,但一般情况下,考虑到粗抽时间,使用大于此处所示的机械增压泵和油回转真空。使用泵。 * 3 关于其他尺寸,请参阅我们网站上发布的 CAD 数据。 * 4 D-11是烃基通用油,D-31是硅基扩散泵油,具有高耐热性和稳定性。
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