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成都西野供应：ULVAC爱发科低温泵

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产品名称: 成都西野供应：ULVAC爱发科低温泵
产品型号: 低温-U4H
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

ULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、聚变、航天开发等多个领域，并积累了良好的业绩。


成都西野供应：ULVAC爱发科低温泵  的详细介绍

低温泵

CRYO-U系列

低温-U4H

阿尔巴克低温

ULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、聚变、航天开发等多个领域，并积累了良好的业绩。

特征

  • 使用 4 英寸低温泵展示*佳排气特性。
  • 高排气速度有助于提高排气效率和生产率。
  • 特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。
  • 一台压缩机*多可以运行 4 台泵。
  • 可根据使用目的设计制造。

外形尺寸（单位：mm）

u4h.gif

规格

排气速度（20℃） 氮 升/秒 450
氢 500
氩气 370
水 1,100
达到压力 帕 10 -7
*大流量 氩气 帕·升/秒 1.3 × 10 3
排气量 氩气 帕·L 1.0 × 10 7
氢 1.5×10 5
冷却下降时间 分钟 (50 / 60Hz) 45/50
大量的 公斤 14.5
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