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成都西野供应：ULVAC爱发科低温泵

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产品名称: 成都西野供应：ULVAC爱发科低温泵
产品型号: 低温-U22H
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

ULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、聚变、航天开发等多个领域，并积累了良好的业绩。


成都西野供应：ULVAC爱发科低温泵  的详细介绍

低温泵

CRYO-U系列

低温-U22H

阿尔巴克低温

ULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、聚变、航天开发等多个领域，并积累了良好的业绩。

特征

  • 适用于大型成膜设备。
  • 水的*大排气速度。

外形尺寸（单位：mm）

u22h.gif

规格

排气速度（20℃） 氮 升/秒 17,000
氢 25,000
氩气 14,000
水 39,000
达到压力 帕（托） 10 -7 (10 -9 )
*大流量 氩气 帕·升/秒（托尔·升/秒） 4.1 × 10 3 (31)
氢 1.3 × 10 3 (9.6)
排气量 氩气 帕·L（托尔·L） 8.1 × 10 8 (6.1 × 10 6 )
氢 8.5 x 10 6 (6.4 x 10 4 )
冷却下降时间
（电源循环） 		分钟（赫兹） 150/135 (50/60)
进气法兰 UVG-550
压缩机组 C30VRT x 2
大量的 公斤 125.0

* 保养间隔：16,000小时
U22H和U30H根据《外汇及外贸管制法》的规定归类为战略物资等出口管制产品
。
当您将其带出日本时，请办理必要的手续，例如向日本政府申请出口许可证
。

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