产品资料

ULVAC爱发科热阴极电离真空计

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: ULVAC爱发科热阴极电离真空计
产品型号: ST200-A/R/E
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

成都西野供应：ULVAC爱发科热阴极电离真空计ST200-A/R/E


ULVAC爱发科热阴极电离真空计  的详细介绍

热阴极电离真空计

传感器类型

ST200系列

ST200-A/R/E

ULVAC

可以连接不同量程的测量头的新型换能器系列“G-TRAN系列多离子规”。本产品是三极管型电离真空计，即使在真空计的恶劣环境下，也不会轻易降低灵敏度，并且可以长时间准确地进行真空测量。在继承长寿命、低运行成本的传统理念的同时，我们进行了更加人性化的改进。

特征

  • 可用性改进：通过连接到 PC/智能手机，可以进行设定点设置、状态检查等
  • 灯丝寿命通知功能：通过监控灯丝的电量，可以提前通知灯丝寿命。
  • 可连接不同量程的测针：采用多离子规，可根据应用选择测针。
  • 紧凑：与传统产品相比，实现了显着的小型化（控制器体积减少了 56%），世界上*小的级别
  • 产品阵容扩充：除了模拟输出规格（ST200-A）和串行通信规格（ST200-R）之外，还将增加EtherCAT规格（ST200-E）。
  • 世界首款三极管金属电离气压计（正在申请砖利）：真空计即使在恶劣环境下也能实现长寿命
  • 宽范围压力测量：可测量从大气压到高真空区域（1 x 10 +5至 1 x 10 -5 Pa）（连接可选单元 SWU10-R 时）
  • 精  确的大气压测量：可确认大气压打开腔室（连接可选单元 SAU 时）

采用

  • 有机EL、触控面板等制造设备的极限压力检查和过程控制
  • 用于检查真空炉等各种工业真空设备的极限压力
  • 用于在含有大量碳氢化合物（油基）的环境中测量
  • 真空零件加工时，在切削油、清洗液残留的环境中进行测量
  • 用于希望减少真空计测针更换频率的真空设备

* 如果您在腐蚀性气体（卤素气体）环境中使用，请与我们联系。

规格

模型 ST200-A ST200-R ST200-E（预定发售）
规格 标准规格 串行通信规格 EtherCAT 规格
自适应多离子规传感器 SWT-16 (NW16), SWT-25 (NW25)
可连接传感器 多离子规传感器：1 个
皮拉尼规 SWU10-R：1 个（选项）
大气压传感器 SAU：1 个（选项）
重复精度 (N 2 ) ST200单机模式：±2%
采样时间 60ms 5 个移动平均线
测量值输出 输出电压 DC 0-10V LOG 输出 0.75V / 1位
压力转换公式 V = 7.25 + 0.75 × (LogP-2) P = 10 ^ {(V-7.25) /0.75+2}
更新时间 60毫秒
控制输入信号 FIL ON / OFF, FIL 1/2, DEGAS ON / OFF
集电极开路输入，负逻辑 		―――― ――――
控制输出信号 传感器错误，设定点 1/2/3，发射电压，
灯丝功率监测
额定值：24V MAX，50mA MAX，饱和电压 1V 		―――― ――――
串行通信规格 ―――― RS232C / RS-485 EtherCAT
LED显示屏 POWER / ERROR：电源、错误 LED（闪烁状态根据每种模式而变化）
发射电流 2mA（1×10 -2 Pa以下）、10μA（1×10 -2 Pa以上）
脱气 电子轰击法，发射电流2mA，栅极电压约330V
传感器耐压 2 x 10 +5 Pa（优良压力） * 法兰和卡箍等承受压力需要单独考虑。
传感器内部容积 17cm 3 (SWT-16), 19cm 3 (SWT-25)
工作温度限制 10-50℃
工作湿度范围 15-80%（但无冷凝）
贮存温度 -20～65℃（不通电时不结露）
知识产权保护等级 IP30
电源电压 DC20-28V（纹波、噪声1%以下）
8W以下
输入/输出连接器 D-sub 15针（M2.6螺丝）
大量的 控制器：约 280g 触控笔（SWT-16、SWT-25）：80g
外形尺寸 W × D × H 69mm x 63mm x 90mm（控制器部分）
符合标准 行政长官
可选的



 多离子规传感器 SWT-16 (NW16)、SWT-25 (NW25)
材质：灯丝：Ir / Y 2 O 3涂层
其他：PtC-Mo、SUS304、W、可伐玻璃、可伐合金/镀镍
皮拉尼规 SWU10-R * 与传统 SPU 兼容
皮拉尼规传感器 SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)、SWP-CF16(ICF034)
材质: Filament-Pt, Other-BS / Ni, Plating, Ni, Solder
气压传感器 SAU (NW16) 材质：SUS316L
单元电缆 GUC-200P（SWU用）：0.5m、1m、2m 
GUC-200A（SAU用）：0.5m、1m、2m
显示单元 1CH：ISG1（使用24V直流电源）
显示单元电缆 SH200 和显示单元之间的电缆
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
连接器 输入/输出连接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺丝））
其他 检验报告、一般校准测试报告、JCSS校准证书

各模式规格

ST200-A / ST200-R / ST200-E可从三种使用方式中进行选择：多油表单模式、与吡拉尼计的组合模式、与吡拉尼计和气压传感器的三组组合模式。

模式 ST200-A / ST200-R / ST200-E
单模 		ST200 -A/ST200-R/ST200-E 
+SWU10-R
组合模式 		ST200 -A/ST200-R/ST200-E 
+SWU10-R+SAU
组合模式
测量压力范围 1.0 × 10 -5至 1.0 × 10 +1 Pa 1.0 × 10 -5 ~ 1.0 × 10 +5 Pa 1.0 × 10 -5 ~ 1.0 × 10 +5 Pa
测量精度 1.0×10 -4至 3.0×10 +0 Pa：
±10% 		1.0 × 10 -4至 1.0 × 10 +4 Pa：± 10% 
1.0 × 10 +4至 1.0 × 10 +5 Pa：± 20% 		1.0 × 10 -4至 1.0 × 10 +4 Pa：± 10% 
1.0 × 10 +4至 3.0 × 10 +5 Pa：± 3% FS (3.0 × 10 +3 Pa ・参考温度25℃)
连接图 ST200_S.png ST200 + SWU10-R.png ST200 + SWU10-R + SAU.png
测量压力范围图像 ST200_i.png

三重组合用于需要确认“大气压力”的情况，例如当腔室打开时。

PC / 智能手机连接图像

SH200_手机+电脑.png

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