产品资料

ULVAC爱发科热阴极电离真空计

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: ULVAC爱发科热阴极电离真空计
产品型号: SH200-A/R/E
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

成都西野供应：ULVAC爱发科热阴极电离真空计SH200-A/R/E


ULVAC爱发科热阴极电离真空计  的详细介绍

热阴极电离真空计

传感器类型

SH200系列

SH200-A/R/E

ULVAC

这是一款全新的换能器型真空计“G-TRAN系列多离子真空计”，可以连接不同量程的换能器。本产品为BA型电离真空计，可测量超高真空。我们在继承传统的大范围压力测量和低运行成本的概念的同时，进行了更加人性化的改进。

特征

  • 可连接不同量程的测针：采用多离子规，可根据应用选择测针。
  • 紧凑：与传统产品相比，实现了显着的小型化（控制器体积减少了 56%），世界上*小的级别
  • 可用性改进：通过连接到 PC/智能手机，可以进行设定点设置、状态检查等
  • 产品阵容扩充：除了模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）之外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）。
  • 灯丝寿命通知功能：通过监控灯丝的电量，可以提前通知灯丝寿命。
  • 宽范围压力测量：可测量从大气压到高真空区域（1 x 10 +5至 5 x 10 -8 Pa）（连接可选单元 SWU10-R 时）
  • 精  确的大气压测量：可确认大气压打开腔室（连接可选单元 SAU 时）

采用

  • 用于半导体和电子元件等各种制造设备的高真空区域的过程控制
  • 用于检查具有许多工艺室的各种制造设备的高真空区域的极限压力，例如在线型和单晶片型。
  • 用于高真空和超高真空设备的压力测量

规格

模型 SH200-A SH200-R SH200-E（预定发布）
规格 标准规格 串行通信规格 EtherCAT 规格
自适应多离子规传感器 M-44 (NW16)、M-45 (NW25)、M-46 (ICF070)
可连接传感器 多离子规传感器：1 个
皮拉尼规 SWU10-R：1 个（选项）
大气压传感器 SAU：1 个（选项）
重复精度 (N 2 ) SH200单机模式：±2%
采样时间 60ms 5 个移动平均线
测量值输出 输出电压 DC 0-10V LOG 输出 0.75V / 1位
压力转换公式 V = 7.25 + 0.75 × (LogP-2) P = 10 ^ {(V-7.25) /0.75+2}
更新时间 60毫秒
控制输入信号 FIL ON / OFF, FIL 1/2, DEGAS ON / OFF
使用开路集电极输入，负逻辑
* FIL ON / OFF 信号根据模式使用不同。 		―――― ――――
控制输出信号 传感器错误，设定点 1/2/3，发射电压，
灯丝功率监测
额定值：24V MAX，50mA MAX，饱和电压 1V 		―――― ――――
串行通信规格 ―――― RS232C / RS-485 EtherCAT
LED显示屏 POWER / ERROR：电源、错误 LED（闪烁状态根据每种模式而变化）
SET1：设定点1LED 
SET2：设定点 2LED 
SET3：设定点 3LED 		―――― ――――
发射电流 1mA（1×10 -3 Pa以下）、10μA（1×10 -3 Pa以上）
脱气 电子冲击解吸法（电子轰击）1mA，330V
传感器耐压 2 x 10 +5 Pa（优良压力） * 法兰和卡箍等承受压力需要单独考虑。
传感器内部容积 17cm 3 (M-44), 19cm 3 (M-45), 17cm 3 (M-46)
工作温度限制 10-50℃
工作湿度范围 15-80%（但无冷凝）
贮存温度 -20～65℃（不通电时不结露）
知识产权保护等级 IP30
电源电压 DC20-28V（纹波、噪声1%以下）、8W以下
输入/输出连接器 D-sub 15针（M2.6螺丝）
大量的 控制器：约 280g 触控笔（M-44、M-45）：80g，（M-46）：300g
外形尺寸 W × D × H 69mm x 63mm x 90mm（控制器部分）
符合标准 行政长官
可选的



 多离子规传感器 M-44 (NW16), M-45 (NW25), M-46 (ICF070)
材质：灯丝 1,2 -Ir / Y 2 O 3 Coat
其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar / Ni电镀
皮拉尼规 SWU10-R * 与传统 SPU 兼容
皮拉尼规传感器 SWP-16（NW16）、SWP-25（NW25）、SWP-R1/8（R1/8）、SWP-P18（Φ18管端）、SWP-P15（Φ15管端）
材质：灯丝-Pt、其他- BS/Ni、电镀、Ni、焊锡
气压传感器 SAU (NW16) 材质：SUS316L
单元电缆 GUC-200P（SWU用）：0.5m、1m、2m 
GUC-200A（SAU用）：0.5m、1m、2m
显示单元 1CH：ISG1（使用24V直流电源）
显示单元电缆 SH200 和显示单元之间的电缆
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
连接器 输入/输出连接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺丝））
其他 检验报告、一般校准测试报告、JCSS校准证书

各模式规格

SH200-A / SH200-R / SH200-E可从三种使用方式中进行选择：多油表单模式、与吡拉尼计的组合模式以及与吡拉尼计和气压传感器的三组组合模式。

模式 SH200-A / SH200-R / SH200-E
独立模式 		SH200-A / SH200-R / SH200-E 
+ SWU10-R
组合模式 		SH200-A / SH200-R / SH200-E 
+ SWU10-R + SAU
组合模式
测量压力范围 5.0 × 10 -8 ~ 1.0 × 10 +1 Pa 5.0 × 10 -8～ 1.0 × 10 +5 Pa 5.0 × 10 -8～ 1.0 × 10 +5 Pa
测量精度 5.0×10 -8～ 1.0×10 +1 Pa：
±15% 		5.0 × 10 -8～ 4.0 × 10 -1 Pa：± 15% 
4.0 × 10 -1～ 3.0 × 10 +0 Pa：± 10 ～ ± 15% 
3.0 × 10 +0～ 1.0 × 10 +4 Pa：± 10 % 
1.0 × 10 +4～ 1.0 × 10 +5帕：±20% 		5.0 × 10 -8～ 4.0 × 10 -1 Pa：± 15% 
4.0 × 10 -1～ 3.0 × 10 +0 Pa：± 10 ～ ± 15% 
3.0 × 10 +0～ 1.0 × 10 +4 Pa：± 10 % 
1.0 × 10 +4～ 3.0 × 10 +5 Pa：± 3% FS (3.0 × 10 +3 Pa ・参考温度25℃)
连接图 SH200_S.png SH200 + SWU10-R.png SH200 + SWU10-R + SAU.png
测量压力范围图像 SH200_i.png

三重组合用于需要确认“大气压力”的情况，例如当腔室打开时。

PC / 智能手机连接图像

SH200_手机+电脑.png

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