UNECS系列
ULVAC
轻巧紧凑的便携型
UNECS系列是一种光谱椭偏仪，可以高速、高精度地测量薄膜的膜厚和折射率。 采用独特的测量方法，实现高速测量和紧凑性。 根据用途，我们有广泛的产品阵容，从独特的便携型到自动平台型和支持真空环境的内置型设备。 UNECS-Portable 是一款重量为 2.2 kg 的轻巧紧凑型测量装置，是一种易于携带的便携式类型。
为小样品附加了一个简单的固定载物台，可以将其从载物台上取下来测量大样品。
特征 高速测量： 采用独特的快照方式，实现了高达20ms的高速测量。 可见光谱兼容： 波长范围可选择标准型（530nm至750nm）和可见光谱型（380nm至760nm）。 紧凑型传感器单元： 发光传感器非常轻巧紧凑，因为它仅由没有旋转机构的光学元件组成，并且不需要定期维护。 丰富的产品阵容： 拥有独特的便携型、手动/自动平台型、大型板型以及支持大气/真空环境的内置型设备等各种应用的产品阵容。 采用 透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等）的膜厚、折射率、消光系数的测量 规格 波长范围 530-750nm、380-760nm（二选一） 光斑直径 Φ1mm、Φ0.3mm（任选其一） 入射角 固定在 70° 膜厚再现性 1σ = 0.1nm 膜厚范围 1nm-2μm 测量时间 光接收：20ms-3000ms 计算：300ms 阶段 固定型（Φ50mm以下，可拆卸） 控制电脑 笔记本型（带操作/分析软件） 设备配置 测量体（带固定载物台）、控制箱、光源单元 操作电脑（笔记本型）、使用说明书（CD）
蓉公网安备 51012402000290号
