成都西野供应：ULVAC爱发科光谱椭偏仪

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产品名称: 成都西野供应：ULVAC爱发科光谱椭偏仪

产品型号: UNECS-1500M

产品展商: ULVAC爱发科

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简单介绍

成都西野供应：ULVAC爱发科光谱椭偏仪UNECS-1500M

成都西野供应：ULVAC爱发科光谱椭偏仪 的详细介绍

手动型

UNECS系列

UNECS-1500M

ULVAC

Φ150mm手动载物台

UNECS系列是一种光谱椭偏仪，可以高速、高精度地测量薄膜的膜厚和折射率。
采用独特的测量方法，实现高速测量和紧凑性。
根据用途，我们有广泛的产品阵容，从独特的便携型到自动平台型和支持真空环境的内置型设备。
UNECS-1500M配备了兼容Φ150mm的手动R-θ平台，具有良好的可操作性，便于测量和定位。

特征

高速测量：
采用独特的快照方式，实现了高达20ms的高速测量。
可见光谱兼容：
波长范围可选择标准型（530nm至750nm）和可见光谱型（380nm至760nm）。
紧凑型传感器单元：
发光传感器非常轻巧紧凑，因为它仅由没有旋转机构的光学元件组成，并且不需要定期维护。
丰富的产品阵容：
拥有独特的便携型、手动/自动平台型、大型板型以及支持大气/真空环境的内置型设备等各种应用的产品阵容。

采用

透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等）的膜厚、折射率、消光系数的测量

规格

波长范围		530-750nm、380-760nm（二选一）
光斑直径		Φ1mm、Φ0.3mm（任选其一）
入射角		固定在 70°
膜厚再现性		1σ = 0.1nm
膜厚范围		1nm~2μm
测量时间		光接收：20ms-3000ms 计算：300ms
阶段		Φ150mm手动R-θ载物台
控制电脑		笔记本型（带操作/分析软件）
设备配置		测量体（手动载物台、带控制箱）光源单元、操作电脑（笔记本型）、使用说明书（CD）

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