自动型
UNECS系列
ULVAC
可映射测量的自动载物台类型
UNECS系列是一种光谱椭偏仪,可以高速、高精度地测量薄膜的膜厚和折射率。 采用独特的测量方法,实现高速测量和紧凑性。 根据用途,我们有广泛的产品阵容,从独特的便携型到自动平台型和支持真空环境的内置型设备。
UNECS-1500A / 2000A / 3000A 使用自动 R-θ 载物台和自动对焦功能,可快速自动测量基材表面的膜厚分布,并以彩色 图显示结果。
特征 高速测量: 采用独特的快照方式,实现了高达20ms的高速测量。 可见光谱兼容: 波长范围可选择标准型(530nm至750nm)和可见光谱型(380nm至760nm)。 紧凑型传感器单元: 发光传感器非常轻巧紧凑,因为它仅由没有旋转机构的光学元件组成,并且不需要定期维护。 丰富的产品阵容: 拥有独特的便携型、手动/自动平台型、大型板型以及支持大气/真空环境的内置型设备等各种应用的产品阵容。 采用 透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等)的膜厚、折射率、消光系数的测量 规格 模型 1500A 2000A 3000A 波长范围 530-750nm、380-760nm(二选一) 光斑直径 Φ1mm、Φ0.3mm(任选其一) 入射角 固定在 70° 膜厚再现性 1σ = 0.1nm 膜厚范围 1nm-2μm 测量时间 光接收:20ms-3000ms 计算:300ms 阶段 Φ150mm自动 Φ200mm自动 Φ300mm自动 自动测量 200 分 200 分 2,000 点 控制电脑 笔记本型(带操作/分析软件) 设备配置 测量体、控制器、操作电脑(笔记本型)、使用说明书(CD)
蓉公网安备 51012402000290号