ULVAC爱发科高速光谱椭偏仪

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产品名称: ULVAC爱发科高速光谱椭偏仪

产品型号: UNECS-2000A

产品展商: ULVAC爱发科

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简单介绍

成都西野供应：ULVAC爱发科高速光谱椭偏仪UNECS-2000A

ULVAC爱发科高速光谱椭偏仪 的详细介绍

自动型

UNECS系列

UNECS-2000A

ULVAC

可映射测量的自动载物台类型

UNECS系列是一种光谱椭偏仪，可以高速、高精度地测量薄膜的膜厚和折射率。
采用独特的测量方法，实现高速测量和紧凑性。
根据用途，我们有广泛的产品阵容，从独特的便携型到自动平台型和支持真空环境的内置型设备。
UNECS-1500A / 2000A / 3000A 使用自动 R-θ 载物台和自动对焦功能，可快速自动测量基材表面的膜厚分布，并以彩色图显示结果。

特征

高速测量：
采用独特的快照方式，实现了高达20ms的高速测量。
可见光谱兼容：
波长范围可选择标准型（530nm至750nm）和可见光谱型（380nm至760nm）。
紧凑型传感器单元：
发光传感器非常轻巧紧凑，因为它仅由没有旋转机构的光学元件组成，并且不需要定期维护。
丰富的产品阵容：
拥有独特的便携型、手动/自动平台型、大型板型以及支持大气/真空环境的内置型设备等各种应用的产品阵容。

采用

透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等）的膜厚、折射率、消光系数的测量

规格

模型	1500A	2000A	3000A
波长范围	530-750nm、380-760nm（二选一）
光斑直径	Φ1mm、Φ0.3mm（任选其一）
入射角	固定在 70°
膜厚再现性	1σ = 0.1nm
膜厚范围	1nm-2μm
测量时间	光接收：20ms-3000ms 计算：300ms
阶段	Φ150mm自动	Φ200mm自动	Φ300mm自动
自动测量	200 分	200 分	2,000 点
控制电脑	笔记本型（带操作/分析软件）
设备配置	测量体、控制器、操作电脑（笔记本型）、使用说明书（CD）

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