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成都西野供应：ULVAC爱发科摆阀

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产品名称: 成都西野供应：ULVAC爱发科摆阀
产品型号: VFR-400
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

ULVAC开创技术开发的大型摆阀（闸阀）。 兼容显示成膜设备等大型真空设备。


成都西野供应：ULVAC爱发科摆阀  的详细介绍

摆阀

双作用

VFR 系列

VFR-400

ULVAC

ULVAC开创技术开发的大型摆阀（闸阀）。
兼容显示成膜设备等大型真空设备。

特征

  • ULVAC的独特
    机构 采用不具有机械锁定机构的独特密封机构和反向压力消除机构
    导致产生颗粒的滑动部件极少的结构
    开/关操作或密封过程中几乎没有冲击（振动）。
  • 可维护性优良
    的装置，无需从泵上拆下阀门即可装卸阀壳。从
    拆下外壳的状态下，只需卸下一个螺栓即可装卸阀体单元。
  • 设计安装在任何地方
    VFR系列可以360度安装在任何姿势

采用

  • 大型显示器制造设备
  • 有机EL制造设备
  • 其他真空设备的主阀和隔断阀

规格

模型 VFR-400 VFR-500
标称口径 Φ400mm Φ500mm
连接法兰（相当于 JIS B 2290） VF400 VF500
开合规格 2个职位
开闭操作原理 压缩空气驱动型
开闭动作时间（2位规格） 8秒或更短 12秒或更短
阀板密封性能 支持反向压力
开路电导 50000L/s 90000L/s
工作压力范围 1.0×10 -5 Pa～0.12MPa（优良）
允许烘烤温度（静止） 阀体：120℃以下
气缸：80℃以下
工作环境温度 10-80℃
工作液温度 10-80℃
气缸供给压力 空气压力 0.5-0.7MPaG
压缩空气供应直径 Φ8管件
维护周期 100,000 次
安装姿势 自由
主要部件材料 阀体：AC4CH-T6
阀板：AC4CH-T6
密封件材料 真空侧：氟橡胶
油脂 Z300润滑脂
总质量 98公斤 155公斤
面对面尺寸 150mm 170mm

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