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成都西野:ULVAC爱发科大容量直流电源

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产品名称: 成都西野:ULVAC爱发科大容量直流电源
产品型号: DC-20-AM
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

DC-10 和 DC-20 是用于溅射的直流电源，输出功率为 10kW 和 20kW。 它由可靠的部件和电路组成。它是一种高度可靠的电源，*适合等离子负载，在设计中反映了多年来积累的专有技术，包括电源应用。


成都西野:ULVAC爱发科大容量直流电源  的详细介绍

大容量直流电源

DC-20-AM

ULVAC

DC-10 和 DC-20 是用于溅射的直流电源，输出功率为 10kW 和 20kW。
它由可靠的部件和电路组成。它是一种高度可靠的电源，*适合等离子负载，在设计中反映了多年来积累的专有技术，包括电源应用。

特征

  • 轻巧省空间
    轻巧省空间的设计，具有出色的可安装性。
  • 可选择输出电压范围
    除800V规格外，还提供1000V规格。
  • 丰富的电弧处理
    熟悉等离子的丰富的电弧控制方法。
  • 无需冷却水
    由于采用强制风冷方式，无需冷却水。
  • 可安装高速灭弧电路，
    实现标准的低电弧能量。此外，还可以选择安装高速灭弧电路。
  • 可安装自由并联运行功能
    DC-10、DC-20：通过将10kW和20kW与可选的并联运行功能自由组合，*多可并联运行12台。(*大240kW)

采用

  • FPD用溅射设备
  • 半导体溅射设备
  • 触控面板溅射装置
  • 工业镀膜溅射设备

规格

模型 DC-10-AM DC-10-H-AM DC-10-4-AM DC-20-AM DC-20-H-AM DC-20-4-AM
输入规格 输入电压 三相AC187-229V 三相AC342-440V 三相AC187-229V 三相AC342-440V
输入容量 13.5kVA以下 25kVA以下
输出规格 *大额定功率 10kW 20kW
额定电流 25A 18A 25A 50A 40A 50A
额定电压 -800V -1000V -800V -800V -1000V -800V
点火电压 -1500V
异常放电控制 检测到异常放电时高速灭弧电路切断
控制 控制方法 恒功率控制（P控制）/恒流控制（I控制）/恒压控制（V控制）
控制精度 恒功率控制（P控制）：额定输出的±0.5%以下或设定值的±1%，取较大者
恒流控制（I控制）：额定输出的±1%以下或±2%设定值的较大者
恒压控制（V控制）：额定输出的±1%以下或设定值的±2%，取较大者
控制保证范围 10-100% 额定功率
外部控制 模拟/数字，RS-232C 或 485
并联运行 *多 12 个单元（10、10H、-4 混合和 20、20H、-4 混合）
冷却方式 强制风冷
外形尺寸 W × D × H 483 x 630 x 133 毫米（不包括突出部分）
大量的 29公斤 36公斤
符合标准 CE / SEMI F47 / RoHS指令
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