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ULVAC爱发科大容量直流电源

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产品名称: ULVAC爱发科大容量直流电源
产品型号: DC-30-44H-E
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

溅射用30kW高阻抗规格直流电源。


ULVAC爱发科大容量直流电源  的详细介绍

大容量直流电源

DC-30-44H-E

ULVAC

溅射用30kW高阻抗规格直流电源。

特征

  • 通过高速电弧切断电路实现超低电弧能量。有助于提高生产力和产量。
  • 1200V输出对应高阻抗负载。
  • 支持 EtherCAT,有助于设备的布线节省。

采用

  • FPD用溅射设备
  • 半导体溅射设备
  • 触控面板溅射装置
  • 工业镀膜溅射设备

规格

模型 DC-30-44H-E
输入规格 输入电压 三相 AC396V 至 484V
输入容量 41.5kVA以下
输出规格 *大额定功率 30kW
额定电流 55A
额定电压 -1200V
点火电压 -1500V
异常放电控制 检测到异常放电时高速灭弧电路切断
控制 控制方法 恒功率控制(P控制)/恒流控制(I控制)/恒压控制(V控制)
控制精度 恒功率控制(P控制):额定输出的±0.5%以下或设定值的±1%,取较大者
恒流控制(I控制):额定输出的±1%以下或±2%设定值的较大者
恒压控制(V控制):额定输出的±1%以下或设定值的±2%,取较大者
控制保证范围 10-100% 额定功率
外部控制 模拟/数字,RS-232C 或 485,EtherCAT
并联运行 *多 12 个单位
冷却方式 强制风冷
外形尺寸 W × D × H 483 x 650 x 177 毫米(不包括突出部分)
大量的 45公斤
符合标准 CE / SEMI F47 / RoHS指令

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