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成都西野：ULVAC爱发科小容量直流电源

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产品名称: 成都西野：ULVAC爱发科小容量直流电源
产品型号: DC-4
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

DC-2 和 DC-4 是用于溅射的直流电源，输出功率为 2kW 和 4kW。 高控制精度提供出色的可重复性并实现更高质量的过程。


成都西野：ULVAC爱发科小容量直流电源  的详细介绍

小容量直流电源

DC-4

ULVAC

DC-2 和 DC-4 是用于溅射的直流电源，输出功率为 2kW 和 4kW。
高控制精度提供出色的可重复性并实现更高质量的过程。

特征

  • 高控制精度
    即使在 10% 或更低的低功率范围内，也可实现设定值 ±1% 的高精度输出
  • 宽精度保证
    1-100% 宽功率精度保证
  • 轻巧省空间
    轻巧省空间的设计，具有出色的可安装性。
  • 无需冷却水
    由于采用强制风冷方式，无需冷却水。

  • 反馈设计作为高度可靠的设备制造商积累的专有技术

采用

  • 研发用溅射设备
  • 各种成膜设备的偏置电源

规格

模型 DC-2 DC-4
输入规格 输入电压 AC208V / 220V
波动范围 AC180-242V
相数、频率 三相 50 / 60Hz
输入容量 3.5kVA 6.2kVA
输出规格 *大额定功率 2千瓦 4千瓦
额定电流 5A 10A
额定电压 800V
输出极性 负极性
异常放电控制 谐振截止或逆变器截止
控制 控制方法 恒功率控制（P控制）/恒流控制（I控制）/恒压控制（V控制）
控制精度 设定值的±1% 
（在我们指定的电阻值下）
控制保证范围 1-100%额定功率值
并联运行 没有
外部控制 模拟/数字，RS-232C 或 RS-485
冷却方式 强制风冷
外形尺寸（宽 x 深 x 高） 241 毫米 x 610 毫米 x 133 毫米（不包括突出部分）
大量的 15公斤
符合标准 CE / SEMI F47 / RoHS指令

工作环境温度 5°C-40°C（无冷凝）
工作环境 避免阳光直射、高温、灰尘、振动，不含腐蚀性气体。

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