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成都西野供应：ULVAC爱发科金属膜用EB枪

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产品名称: 成都西野供应：ULVAC爱发科金属膜用EB枪
产品型号: EGN-406M
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

成都西野供应：日本ULVAC爱发科金属膜用EB枪


成都西野供应：ULVAC爱发科金属膜用EB枪  的详细介绍

金属膜用EB枪

EGN系列

EGN-406M

ULVAC

EGN 系列是新开发的用于金属蒸发的电子束蒸发源，其重点是提高可维护性。
采用平顶结构，减小了电子束蒸发源上的成膜面积，可维护性高。

特征

  • 采用平顶结构，电子束蒸发源上的成膜面积小，清洗容易。
  • 通过采用新的发射器结构，与传统的相比，零件数量减少了60%，并且易于组装。
  • 可以选择用于金属沉积的*佳带状光束和用于氧化物/化合物的*佳点束。
  • 反馈设计作为设备制造商积累的专有技术

采用

  • 用于电子束沉积的蒸发源

规格

模型 EGN-206M EGN-406M
电子束偏转角 270° 270°
坩埚数量 6 6
坩埚容量 20cc 40cc
冷却水量 10升/分钟 10升/分钟
外形尺寸 W × D × H 267 毫米 x 343 毫米 x 150 毫米 267 毫米 x 343 毫米 x 150 毫米
重量 28公斤 28公斤
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