特征

• 采用容量为10cc的直动式三点开关式炉缸，适用于超高真空小规模生产。
• 由于电子束被电磁场偏转，即使对于二次电子对非沉积材料影响很小的升华材料，也可以在X轴和Y轴方向扫描束斑，消除了部分挖孔现象。，整个锅可以顺利蒸发。（拥有日本砖利第 831485.843447 号）
• 电子束偏转270°，因此不会从蒸发材料中暴露在上面，灯丝寿命长。
• 由于发射器组件可以很容易地安装和拆卸，因此很容易更换灯丝和绝缘体。