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成都西野供应;ULVAC爱发科金属膜用EB枪

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产品名称: 成都西野供应;ULVAC爱发科金属膜用EB枪
产品型号: EGL-35
产品展商: ULVAC爱发科
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简单介绍

成都西野供应;日本 ULVAC爱发科金属膜用EB枪EGL-35


成都西野供应;ULVAC爱发科金属膜用EB枪  的详细介绍

金属膜用EB枪

EGL系列

EGL-35

ULVAC

电子束蒸发源 EGL-35 是基于 ULVAC 多年积累和成熟技术的性能和可靠性改进。
该蒸发源有一个*大输入功率为 10 kW 的炉膛。
由于坩埚容量高达每片40cc，因此可以高速沉积厚膜。

特征

  • 采用大容量 40cc 炉床，可进行大量气相沉积。
  • 由于电子束被电磁场偏转，二次电子对沉积材料的影响极小。
  • 即使对于可升华的物质，扫描 X 轴和 Y 轴上的光束点也可以消除挖掘现象并允许顺利蒸发。（拥有日本砖利 831485 和 843447）
  • 由于电子束的270°偏转，它不会暴露在蒸发材料的蒸汽中，灯丝寿命长。
  • 由于灯丝座可以很容易地安装和拆卸，因此很容易更换灯丝和绝缘体。

规格

加速电压 -4kV 至 -10kV 直流
束流 MAX 1.0A（加速电压-10kV）
*大输入功率 10kW (-10kV, 1.0A)
X轴偏转线圈 0.4-3.5A MAX-18V DC 
2.8Ω（室温20℃）
Y轴偏转线圈 0 to ± 2A MAX ± 12V DCmax 6Ω 
x 2（室温20°C）
灯丝 0-6V AC *大 40A
坩 容量 40cc
尺寸 50Φ×41Φ×25H
光束偏转角 270°
有效蒸发角 120°以上
沉积率 1.8μm/min以上（A110kW、250H正上方哈斯）
冷却水量 10L/min以上（*大输出0.7MPa）
水温 15-25℃
外形尺寸 110H x 79W x 206D
重量 10公斤
适用电源 HP-1000N、HPS-1600F
评论 1. 可以安装送丝机
2. 冷却水的电阻率建议在 5 kΩ·cm 以上。
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