特征

• 通过采用容量为40cc和10cc的4点切换式炉床，可以沉积多层膜。
• 由于电子束被电磁场偏转，二次电子对沉积材料的影响极小。
• 通过扫描X轴和Y轴上的束斑，即使是可升华的物质也可以顺利蒸发，消除挖掘现象。
• 由于电子束的270°偏转，它不会暴露在蒸发材料的蒸汽中，灯丝寿命长。
• 由于发射器组件可以很容易地安装和拆卸，因此很容易更换灯丝和绝缘体。
• 可选装炉床位置检测机构，可实现炉床旋转自动化。